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SBC-16磁控离子溅射仪

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品牌名称
中科科仪
厂家区域
北京
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产品详情
产地:
中国
型号:
SBC-16

SBC-16 是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

主要特性:

通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

操作容易快捷, 控制的参数包括放气以及氩气换气控制。

数字化的喷镀电流控制不受样品室内气压影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。

可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au 靶为标配), 靶材更换快速方便。


     技术参数

溅射系统

靶材

Au 靶为标配,可选 Pt,直径 57mm x 0.1mm 厚

标准样品台

可以装载 12 个 SEM 样品座,高度可调范围为 60mm

 

 

旋转倾斜样品台(选配)

旋转速度: 0~60rpm 连续可调,倾斜角度: -90 °~ 90°连续可调;

不锈钢腔体:直径 120mm X 高 75mm;

观察窗:直径 120mm X 高 45mm;

标配旋转台直径 40mm,可放 4 个标准样品台, 其它规格可订

做; 具有双重锁紧装置, 可确保样品在旋转倾斜时不会松动脱

落。

溅射电流

微处理器控制, 安全互锁,可调,电流 5~30mA,程序化数字控制

计量表

真空:  Atm - 1*10-3 mbar,电流: 0~99mA

控制方法

带有 “开始”“暂停”按钮的微处理控制器(1-999s),自动抽气、溅

 射、关机后自动放气。

真空系统

抽气速率

133L/MIN

极限真空

10-4  mbar 级

噪音

56dB


     

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