第1年
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FF-160/700型脂润滑分子泵应用于Low
SBC-16磁控离子溅射仪
FF-160/700F 型脂润滑分子泵用于电
FF-40/25型脂润滑分子泵
FF-200/1200油润滑泵应用于汽车制造
FJ-100型分子泵机组应用于科研领域
FF-100/110型脂润滑分子泵应用于光
F-100/150油润滑泵应用于轴承润滑领
FF-63/80型仪器分子泵应用于薄膜沉
F-100/150油润滑泵应用于新材料研发
- 产地：
- 北京
- 型号：
- FF-100/110型
FF-100/110型脂润滑分子泵
分子泵的应用领域：半导体工业在半导体工艺中，分子泵可以用来清洗修饰表面以及实现真空热处理。半导体生产过程中需要极度清洁的工作环境，在此领域中分子泵得到了广泛应用。
产品特点：
任意角度安装，便于系统集成，紧凑型结构
复合抽气结构，高前级压强下仍保持较大抽速
高强度转子，适用于复杂工业过程
使用方便、应用范围广、性能稳定
技术指标：
| 进气口法兰 | DN100 CF DN100 ISO-K | 排气口法兰（ISO-KF） | DN25 |
| 抽速速率（L/s） | N2：110 He：100 H2：50 Ar：100 | 压缩比 | N2：1E8 He：1E2 H2：1E2 Ar：1E8 |
| 极限压强（Pa） | CF：6E-7 ISO-K：6E-6 | 最大连续前级压强（Pa） | 200 |
| 最大前级压强（Pa） | N2：300 | 最大气载量（sccm） | N2：300 He：240 H2：180 Ar：110 |
| 额定转速（RPM） | 42300 | 启动时间（min） | ≤3 |
| 冷却方式 | 水冷或风冷（环境温度5-32℃时可风冷） | 冷却水流量（L/min） | ≥1 |
| 冷却水温度（℃） | ≤25 | 电源电压（VAC） | 220±22 |
| 最大功率（W） | ≤300 | 适配电源型号 | FD-110A |
| 建议前级泵（L/s） | 2 | 重量（kg） | 8 |
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