第1年
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电镜用能谱仪用于文物鉴定
FF-250/2000型脂润滑分子泵应用于真
FF-160/620油润滑泵应用于医药和化
ZDF-71B5真空计
GVC-1000小型离子溅射仪用于机械加
ZDF-52B5真空计用于材料科学
CXF-320/3001型磁悬浮分子泵应用于
FF-200/1300F型脂润滑分子泵
FF-100/300型仪器分子泵
FF-100/110型脂润滑分子泵应用于加
- 产地：
- 北京
- 型号：
- FJ-80
FJ-80型分子泵机组
分子泵机组应用领域：
半导体制造：真空分子泵可以用于半导体加工和制造过程中，例如制造晶体管、集成电路等。
产品特点：
性能优异：系统抽速高、极限真空好，可通入大流量工艺气体
环境清洁：提供无油真空环境，油泵系统可有效防止油污染
使用便捷：便于移动，一键延时启动，启动时间连续可调，接口丰富
应用广泛：实验室科研、质谱分析、表面分析、溅射和蒸发镀膜等
主要配置：
型号 组成 | FJ-80 | |
分子泵 | FF-63/80 | |
机械泵 | 干式隔膜泵 | 油封旋片泵 |
DIVAC 0.8T | GHD-031B | |
过渡腔 | DN63转CF35/KF40/KF16（可定制） | |
技术指标：
| 进气口法兰 | DN63 ISO-K DN63 CF | 排气口法兰（ISO-KF） | 快插φ8 |
| 抽速速率（L/s） | N2：62 He：55 H2：34 Ar：65 | 压缩比 | N2: 1E9 He: 1E5 H2：1E4 Ar：1E9 |
| 极限压强（Pa） | 3E-5(ISO-K);5E-6(CF) | 建议启动压强（Pa） | ＜50 |
| 前级泵型号 | GHD-031B①（标配 standard） | 冷却方式 | 风冷 Air |
| 输入电压频率（V/Hz） | 220±20/50 | 环境温度（℃） | 5-40 |
| 安装方式 | 垂直 | 外形尺寸L*W*H（mm） | 400×300×260 |
| 重量（kg） | 16-21 |
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