FJ-100型分子泵机组应用于表面分析

产地：

北京

型号：

FJ-100

分子泵机组是由各性能分子泵、无油泵、通断放气阀、前级管路、断水保护器、分子泵电源、控制电源等组装而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于连接，性能可靠。可广泛应用于表面分析、加速器技术、半导体设备，等离子技术、电真空器件的制造及真空技术各领域。

技术指标

进气口法兰：DN100CF DN100 ISO-K

排气口法兰（ISO-KF）：DN25

测量范围（Pa）：1E-5~1E5

抽速速率（L/s）：N2：110 He：100 H2：50 Ar：100

压缩比：N2：1E8 He：1E2 H2：1E2 Ar：1E8

极限压强（Pa）：CF:5E-5;ISO-K:5E-5

建议启动压强（Pa）：100

前级泵型号：RV4（default）

冷却方式：风冷 Air

输入电压频率（V/Hz）：220±22/50

环境温度（℃）：风冷方式 Air cooling 5℃-32℃

安装方式：垂直

适配电源型号：FD-110B

外形尺寸L*W*H（mm）：500×510×840

重量（kg）：52

产品特性

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