- 产地:
- 北京
- 型号:
- FF-200/1300
FF-200/1300型脂润滑分子泵
工作原理:
分子泵的作用原理是依靠分子的运动规律实现的。应用于平板显示,分子泵内部有大量的旋转蒸发器,将气体分子吸入蒸发器内,然后在蒸发器内加热,使分子运动速度变快。由于蒸发器内部的细小管道非常长且弯曲,气体分子在管道内不断碰撞,速度变慢,最终被排放至容器外部。分子泵的排放速度不受气体压力的限制,能够实现高速排泄气体分子,从而创造出极度低压环境。
产品特点:
任意角度安装,便于系统集成,紧凑型结构
复合抽气结构,高前级压强下仍保持较大抽速
高强度转子,适用于复杂工业过程
使用方便、应用范围广、性能稳定
技术指标:
进气口法兰 | DN200 CF DN200 ISO-K | 排气口法兰(ISO-KF) | DN40 |
抽速速率(L/s) | N2:1300 He:1000 H2:480 Ar:1250 | 压缩比 | N2:1E9 He:1E4 H2:1E3 Ar:1E9 |
极限压强(Pa) | CF:6E-7 ISO-K:6E-6 | 最大连续前级压强(Pa) | 240 |
最大前级压强(Pa) | N2:600 | 最大气载量(sccm) | N2:2500 He:1850 H2:1450 Ar:950 |
额定转速(RPM) | 24000 | 启动时间(min) | ≤9 |
冷却方式 | 水冷 | 冷却水流量(L/min) | ≥1 |
冷却水温度(℃) | ≤25 | 电源电压(VAC) | DC24/AC220 |
最大功率(W) | ≤500 | 适配电源型号 | FD-II、FD-IIB、TCDP-II、TD-II |
建议前级泵(L/s) | 15 | 重量(kg) | 29(LF) 31(CF) |
应用领域:
平板显示、薄膜电池、Low-E玻璃、ITO、碳化硅、加速器、真空炉、晶体晶振

FF-200/1300型脂润滑分子泵应用于平板显示由北京中科科仪股份有限公司 为您提供,如您想了解更多关于FF-200/1300型脂润滑分子泵应用于平板显示报价、参数等信息 ,欢迎来电或留言咨询。