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FF-200/1300型脂润滑分子泵应用于平板显示

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品牌名称
中科科仪
厂家区域
北京
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产品详情
产地:
北京
型号:
FF-200/1300

FF-200/1300型脂润滑分子泵

工作原理:

分子泵的作用原理是依靠分子的运动规律实现的。应用于平板显示,分子泵内部有大量的旋转蒸发器,将气体分子吸入蒸发器内,然后在蒸发器内加热,使分子运动速度变快。由于蒸发器内部的细小管道非常长且弯曲,气体分子在管道内不断碰撞,速度变慢,最终被排放至容器外部。分子泵的排放速度不受气体压力的限制,能够实现高速排泄气体分子,从而创造出极度低压环境。


产品特点:

任意角度安装,便于系统集成,紧凑型结构

复合抽气结构,高前级压强下仍保持较大抽速

高强度转子,适用于复杂工业过程

使用方便、应用范围广、性能稳定


技术指标:

进气口法兰DN200 CF DN200 ISO-K排气口法兰(ISO-KF)DN40
抽速速率(L/s)N2:1300 He:1000 H2:480 Ar:1250压缩比N2:1E9 He:1E4 H2:1E3 Ar:1E9
极限压强(Pa)CF:6E-7 ISO-K:6E-6最大连续前级压强(Pa)240
最大前级压强(Pa)N2:600最大气载量(sccm)N2:2500 He:1850 H2:1450 Ar:950
额定转速(RPM)24000启动时间(min)≤9
冷却方式水冷冷却水流量(L/min)≥1
冷却水温度(℃)≤25电源电压(VAC)DC24/AC220
最大功率(W)≤500适配电源型号FD-II、FD-IIB、TCDP-II、TD-II
建议前级泵(L/s)15重量(kg)29(LF) 31(CF)


应用领域:

平板显示、薄膜电池、Low-E玻璃、ITO、碳化硅、加速器、真空炉、晶体晶振


sample

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