- 产地:
- 北京
- 型号:
- CXF-320/3001
CXF-320/3001型磁悬浮分子泵
磁悬浮分子泵的转子由磁性材料组成,在泵体外设置电磁铁组成的电磁轴承,实现转子的悬浮。转子内部有许多个密封气室,每个气室内都有切向切割器和离心器组成的分子泵结构。应用于
产品特点:
节能:无摩擦,避免热损耗、较其它类型产品能耗降低30%
高效:更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
灵活:紧凑型结构,满足更小的物理空间需求、任意角度安装,适合各种设计需求、丰富扩展功能,满足客户定制化需求
技术指标:
| 抽气速率(l/s) | N2:3000 Ar:2750 He:2300 H2:1100 | 压缩比 | N2:>1E8 Ar:>1E8 He:>1E4 H2:>1E3 |
| 极限压强(Pa) | 10-7(橡胶密封) | 进气口法兰 | DN320 ISO F(标配) |
| 额定转速(rpm) | 21000 | 启动时间(min) | ≤12 |
| 停机时间(min) | ≤26 | 安装方式 | 任意角度 |
| 冷却方式 | 水冷 | 推荐前级泵抽速(l/s) | ≥30 |
应用领域:
半导体、光伏、平板显示、装饰镀膜、功能镀膜、科学研究、新能源、新材料、高能物理
CXF-320/3001型磁悬浮分子泵应用于装饰镀膜由北京中科科仪股份有限公司 为您提供,如您想了解更多关于CXF-320/3001型磁悬浮分子泵应用于装饰镀膜报价、参数等信息 ,欢迎来电或留言咨询。

















第1年
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