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CXF-320/3001型磁悬浮分子泵应用于装饰镀膜

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品牌名称
中科科仪
厂家区域
北京
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产品详情
产地:
北京
型号:
CXF-320/3001

CXF-320/3001型磁悬浮分子泵


磁悬浮分子泵的转子由磁性材料组成,在泵体外设置电磁铁组成的电磁轴承,实现转子的悬浮。转子内部有许多个密封气室,每个气室内都有切向切割器和离心器组成的分子泵结构。应用于

 

产品特点:

节能:无摩擦,避免热损耗、较其它类型产品能耗降低30%

高效:更长的连续工作时间、高气流量和高抽速

灵活:紧凑型结构,满足更小的物理空间需求、任意角度安装,适合各种设计需求、丰富扩展功能,满足客户定制化需求


技术指标:

抽气速率(l/s)N2:3000   Ar:2750   He:2300   H2:1100压缩比N2:>1E8   Ar:>1E8   He:>1E4   H2:>1E3
极限压强(Pa)10-7(橡胶密封) 进气口法兰DN320 ISO F(标配)
额定转速(rpm)21000启动时间(min)≤12
停机时间(min)≤26安装方式任意角度
冷却方式水冷推荐前级泵抽速(l/s)≥30


应用领域:

半导体、光伏、平板显示、装饰镀膜、功能镀膜、科学研究、新能源、新材料、高能物理


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