欢迎来到仪器仪表网,请记住我:yqybw.cn 【仪器仪表网】拼音首字母

电子级硫酸中超痕量元素的测定 电感耦合质谱仪NexION 5000 ICP-MS

日期:2021-06-17 04:03:08     浏览:18    下载:1     体积:1.01M    

  【仪器设备行业网  行业应用】目前的先进制程工艺,需要所含的无机杂质含量低于ppt(万亿分之一)级别的超高纯度产品。目前国内半导体工艺中使用的硫酸产品为含量为96~98%,其无机成分杂质含量级别约为10ppt左右。对这种超高纯度硫酸中所含的无机成分超痕量分析时,应用普遍的是电感耦合质谱仪(Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry, ICP-MS)。

电感耦合质谱仪

  实验室分析仪器ICP-MS分析硫酸,需要进行稀释,通常的实验做法是稀释10倍。这是由于高粘度硫酸所具备的物理性质,高粘度硫酸不易通过ICP-MS雾化器进样管,可能影响样品提升效率。鉴于硫酸的杂质含量为10ppt左右,经过10倍的稀释过程后,稀硫酸中所检测的杂质含量应低于1ppt。这就需要ICPMS具备解决高灵敏度状态下质量重叠所致的质谱干扰(多原子干扰)及物理干扰问题。

  珀金埃尔默NexION 5000 QQQQ-ICP-MS,其搭载了UCT技术(为了在热等离子体状态下完成所有元素种类的超痕量分析,该技术适用于消除质谱干扰和物理干扰)和多重四极杆(Multi-Quadrupole),适用于半导体工业中超痕量无机分析。

  准确分析 无惧干扰

  先进的NexION 5000 ICP-MS整合了反应池/碰撞池的简洁性与超越传统三重四极杆的多重四极杆技术,因此非常适合半导体行业。同时四极杆通用池具有动态带宽调谐(DBT)功能,因此可更有效地消除质谱干扰,进而使NexION 5000 ICP-MS在热等离子体条件下可实现半导体必须元素低于1ppt(SEMI F63-0918)的背景等效浓度。同时,该仪器可以升级,以满足SEMI S2和S8标准。

  四极杆离子偏转器(Q0)

  通过优化和筛选一定质量范围的离子进入后续四极杆,从而消除光子和中性组分。

  第一个四极杆质量分析器(Q1)

  可以获得亚单位质量分辨率离子筛选,以确保相同质量数的洁净离子束进入池内,自定义分辨率优于0.3amu。

  四极杆通用池(Q2)

  通过四极杆控制分子离子的气相反应,从而确保干扰消除的效率和特异性。

  第二个四极杆质量分析器(Q3)

  用于对离开通用池的离子进行亚单位质量离子筛选;实现低于0.3amu的自定义分辨率。

  硫酸中的元素分析,容易受到来自硫酸中S、O等多原子离子的干扰。尤其是易受硫影响的Ti和Zn,仅通过氨反应气体来选择性控制干扰源是有局限性的,有必要通过应用质量转移模式来回避干扰。因为氨反应气体的反应性差异在48Ti+或64Zn+与32S16O+或32S16O16O+之间并不大。

  比如等离子体中生成的SO+ 和POH+会和Ti+(m/z=48)一起进入UCT,通入的氨气会和Ti+迅速反应生成更高质量数的络合物。然后在Q3中设置相应的质量数131(64),从而有效解决干扰问题。

  使用热冷离子体条件和独有的UCT技术,可以获得更好的灵敏度和更低的检出限。


  • 配置
  • 品牌型号
  • 参考报价
打赏
更多>相关行业应用
 

版权与免责声明:
① 仪器仪表网( www.yqybw.cn)行业应用和下载栏目发布的文档、图片等一切资源,均由仪器行业的网友主动分享,仅限于沟通学习交流使用,版权归原作者所有;不得将上述内容用于商业或者非法用途。否则,造成的一切后果请自负,仪器仪表网( www.yqybw.cn )不承担连带责任。
② 您必须在下载后的24个小时之内,从您的电脑中彻底删除上述内容。如果您喜欢该资源,请支持正版,以便得到更好的正版服务。如果侵犯到您的权益,请联系我们(zz@yqybw.cn)处理,感谢您的合作与支持!
③ 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系, 否则视为放弃相关权利。

本类推荐
下载排行