- 产地:
- 深圳
- 型号:
- NS系列
中图仪器NS系列涂层厚度测量台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
在半导体、微纳材料及光电子等高精尖领域,微观结构的测量精度直接关乎良率。面对复杂的微米级甚至纳米级特征,您需要一款不仅能测得准,还能测得全的设备。
NS系列台阶仪凭借其强大的通用性,覆盖以下核心应用场景:
1.半导体与微电子:无论是晶圆表面的刻蚀深度、光刻胶层厚度,还是IC封装中的Bump高度与TSV深度,均能精准捕捉。
2.微纳材料研发:针对石墨烯等二维材料的极薄厚度测量,以及微流控通道的结构表征,提供亚埃级的分辨率支持。
3.光伏与面板:适用于太阳能电池栅线高度及平板显示器触控点的微观轮廓测量,支持大200mm(8英寸)样品的真空吸附固定,满足工业级检测需求。
无论您的样品是硬质的硅片还是软性的高分子膜,Nano Step都能助您洞察微观世界的每一个细节。
性能特点1.亚埃级位移传感器
具有亚埃级分辨率,结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰,确保仪器具有良好的测量精度及重复性;
2.超微力恒力传感器
1-50mg可调,以适应硬质或软质样品表面,采用超低惯量设计和微小电磁力控制,实现无接触损伤的接触式测量;
3.超平扫描平台
系统配有超高直线度导轨,杜绝运动中的细微抖动,真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。

相对湿度:湿度 (无凝结)30-40% RH
温度:16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)
地面振动:6.35μm/s(1-100Hz)
音频噪音:≤80dB
空气层流:≤0.508 m/s(向下流动)
恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
涂层厚度测量台阶仪由深圳市中图仪器股份有限公司 为您提供,如您想了解更多关于涂层厚度测量台阶仪报价、参数等信息 ,欢迎来电或留言咨询。




















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