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由SmartScan所支持的Park SmartLitho功能，基于原子力显微镜平台，可实现对材料，电气和电子设备，纳米技术和其他研究领域进行纳米光刻和纳米操作。
Park SmartLitho软件具有多种光刻模式，支持矢量模式和光栅模式，在SmartScan平台上运行，它的友好型操作界面为用户提供了独立便捷的图形编辑器。
[硅上的圣诞球光刻]
设计
压电力显微镜双信号
3D图像
[压电陶瓷上光刻的太极标志]
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