帕克 NX20 300 mm 原子力显微镜 纳米力学性能成像

产地：

韩国

型号：

Park NX20 300 mm

专为大样品晶圆检测而建

NX20 300 mm进行了全新设计，可达到大样品的高精度测量。整个300mm晶圆区域可进行低噪声原子力显微镜测量分析。这开启了一个全新的自动化测量范围，让工程师可以更快捷、更简便、更精准地开展工作。

 

 

灵活的300mm样品吸盘

Park NX20 300mm真空吸盘支持各种尺寸、形状和类型的晶圆，让用户几乎可准确扫描任何样品。

 

300mm XY轴工作台

机动化的300mm XY轴工作台允许用户在300mm的全部区域内移动原子力显微镜的测量位置。

 

 

NX20 支持300mm样品台，性能已被证实

因其便捷的易用性和自动化以及不受影响的精度，NX20已是FA、QA和QC工程师的理想选择。凭借其支持300mm电动XY轴工作台的扩大平台，NX20 300mm更上一层楼，允许用户轻松地以较高的精度检测更大的样品。

 

Park SmartScan™让精准测量更为简单

Park NX20配备了我们的SmartScan操作系统，是市场上易使用的原子力显微镜。通过直观且强大的界面，即便是未经培训的用户无需协助也可快速扫描大样品。这使高级工程师能够集中精力解决更大的问题和开发更好的解决方案。

 

 

 

a在完整300mm晶圆上扫描多个位点

SmartScan™允许用户从位点到位点和样品到样品的层面上，借助基于网格和晶圆的模式，进行自动顺序测量与表面形态、高度和表面粗糙度的比较。这可以大大提高扫描大样品时的用户便利性和生产效率。

b强大的工作创建功能

格式创建流程简单，允许工程师设置每个批次的位置、名称、数量和类型所定义的预设。

 

针对广泛应用性进行优化

NX20 300mm为众多应用提供自动格式的原子力显微镜测量，为纳米级的样品提供精准测量和分析。具有粗糙度、高度和深度测量，缺陷检查，电气和磁故障分析，热性能表征和纳米力学性能成像等能力，该原子力显微镜是检测大样品的FA、QA和QC工程师执行各种任务的理想选择。

 

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