帕克 NX10 原子力显微镜 半导体研究

产地：

韩国

型号：

Park NX10

创新研究的理想选择

Park NX10为您带来高精纳米级分辨率的数据，值得您信赖、使用和拥有。无论是从样品设定还是到全扫描成像、测量与分析，Park NX10都可以在保证您专注于创新研究工作的同时提供高精度的数据。

Park NX10为您带来最高纳米级分辨率的数据，值得您信赖。它是全球唯一一个真正非接触式原子力显微镜，在延长探针使用寿命的同时，还能良好地保护您的样品不受针尖损坏。独立的XY扫描器平板扫描器和Z扫描器可带来无与伦比的精确度和分辨率。

Accurate AFM Solutions for General ResearchTall Sample 1.5 µm step height

扫描模式：非接触模式，Z轴位置传感器的形貌

Flat Sample Atomic steps of sapphire wafer

台阶高度0.3 nm，扫描模式：非接触模式，Z轴位置传感器的形貌

 

Hard Sample Tungsten film

扫描模式：非接触模式，Z轴位置传感器的形貌

Soft Sample Collagen fibril

扫描模式：非接触模式，Z轴位置传感器的形貌

 

Accurate AFM Measurement with Low Noise Z DetectorPark NX10原子力显微镜的低噪声Z探测器

NX平台的核心先进技术

业界无可比拟的超低噪声

默认的形貌信号

Z轴探测器是全新NX系列原子力显微镜的核心技术之一。它是Park独创的新型应变传感器。凭借着0.2埃的超低噪声一跃成为行业内噪声最低的Z轴探测器。超低噪声让Z轴探测器可作为默认的形貌信号，全新的NX系列原子力显微镜与前几代的原子力显微镜的差异可轻易被观察到。如果Z轴探测器的噪声过高，用户是无法观察到蓝宝石晶片的原子台阶的。Park NX系列原子力显微镜的Z轴探测器所发出的高度信号，其噪声水平与Z轴电压形貌相同。

 

Park NX Series

Park NX Z轴探测器的噪声水平

NX10所探测的蓝宝石晶片形貌

 

Park XE Series

aPark XE Z轴探测器的噪声水平

aXE-100所探测的蓝宝石晶片形貌a

 

Accurate AFM Scan by True Non-Contact™ ModeTrue Non-Contact™ Mode

针尖磨损更低=高分率扫描更长久

无损式探针-样品接触=样品受损最小化

可满足各种条件下对各种样品进行非接触式扫描

Tapping Imaging

针尖磨损更快=模糊，低分辨率扫描

破坏性的探针-样品接触=样品易受损

参数高依赖性

 

The Best User Convenience by Design简单的探针和样品更换

独有的设计能让您轻易地用手从侧面更换新的探针和样品。借助安装悬臂式探针夹头中预先对齐的悬臂，无需再进行繁杂的激光校准工作。

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闪电般快速的自动近针

自动的探针样品进针功能能让用户无需进行干预操作。通过监测悬臂接近表面的反应，Park NX10能够在悬臂装载后十秒内开始并自动快速完成探针样品进针操作。高速Z轴扫描器的快速信息反馈和NX电子控制器的低噪声信号处理使得无需用户干预就能快速接触样品表面。

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快速精准的SLD光校准

 

凭借我们先进的预校准悬臂架，悬臂在装载时SLD光便已聚焦完毕。此外，作为行内唯一一家可以提供自上而下的同轴视角可以让您轻松找到光点。由于SLD光垂直照在悬臂上，您可通过旋转两个定位按钮直观地在X轴Y轴移动光点。这样您可以在激光准直页面中轻易找到SLD光并将其定位在PSPD上。此时您只需要稍微调整到最大化信号，便可开始获取数据。

Park NX10技术参数

扫描器

Z扫描器

柔性引导高推动力扫描器

扫描范围: 15 µm (可选30 µm)
高度信号噪声等级: 30 pm
(RMS, 0.5 kHz带宽)

XY扫描器

闭环控制的柔性引导XY扫描器

扫描范围: 50 µm × 50 µm
(可选10 µm × 10 µm 或 100 µm × 100 µm)

 

驱动台

Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)
聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)
XY位移台行程范围 : 20 mm x 20 mm (Motorized)

 

样品架

样品尺寸: 最大开放空间为100 mm x 100 mm，厚度最大值为20 mm
样品重量 : < 500 g

 

光学

10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µm分辨率)
样品表面和悬臂的直观同轴影像
视野 : 480 × 360 µm (带10倍物镜)
CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)

 

软件

SmartScan™

AFM系统控制和数据采集的专用软件
智能模式的快速设置和简易成像
手动模式的高级使用和更精密的扫描控制

XEI

AFM数据分析软件

 

电子

集成功能

4通道数字锁相放大器
弹性系数校准(热方法，可选)
数据Q控制

连接外部信号

20个嵌入式输入/输出端口
5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP,调制和交流偏压

 

AFM模式
(*可选项）

标准成像

真正非接触式原子力显微镜
PinPoint™ 原子力显微镜
接触式原子力显微镜
横向力显微镜 (LFM)
相位成像
轻敲式原子力显微镜

力测量

力-距离(F/d)光谱
力谱成像

介电/压电性能

静电力显微镜(EFM)
动态接触式静电力显微镜(EFM-DC)
压电力显微镜(PFM)
高压压电力显微镜*

机械性能

力调制显微镜(FMM)
纳米压痕*
纳米刻蚀*
高压纳米刻蚀*
纳米操纵*

磁学特性*

磁力显微镜(MFM)
可调制磁力显微镜

 

电性能

导电原子力显微镜(C-AFM)*
IV谱线*
扫描开尔文探针显微镜(KPFM)
扫描电容显微镜(SCM)*
扫描电阻显微镜(SSRM)*
扫描隧道显微镜(STM)*
光电流测绘 (PCM)*

化学性能*

功能化探针的化学力显微镜
电化学显微镜(EC-AFM)

 

原子力显微镜选项

温度控制

温控台 1
  -25 °C to +170 °C
温控台 2
  Ambient to +250 °C
温控台 3
  Ambient to +600 °C

液体池

通用液体池
有液体/气体灌注的开放式或封闭式液体池
控温范围: 0 °C to +110 °C (in air), 4 °C to +70 °C (with liquid)
电化学池
开放式液体池

液下探针柄

专为在一般液体环境中成像而设计
对大多数包括酸在内的缓冲溶液具有抗腐蚀性
可在液体中进行接触式和非接触式原子力显微镜成像

磁场发生器

施加平行于样品表面的外部磁场
可调磁场
Range : -300 ~ 300 gauss
由纯铁芯和两个电磁线圈组成

 

Dimensions in mm

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