帕克 XE15 原子力显微镜 失效分析师研究晶片

产地：

韩国

型号：

Park XE15

核心参数：

样品台移动范围：150mm*150mm (可选200mm*200mm)

样品尺寸：直径≤200mm, 厚度≤20mm

定位检测噪声：0.03nm(typical), 0.05nm(maximum)

产地类别：进口仪器

世界顶级精度及强大功能Park原子力显微镜产品特性

Park XE15具备多个特殊功能，是共享实验室处理各类样品、研究员进行多变量实验、失效分析师研究晶片等的不二选择。合理的价格搭配强健的性能设置，使其成为业内性价比最高的大型样品原子力显微镜。

MultiSample™（多重采样^TM）扫描器带来最便捷样品测量

多样品一次性自动成像

特殊设计的多样品夹头，最多可承载16个独立样品

全自动XY样品载台，行程范围达200 mm x 200 mm。

无轴间耦合提高扫描精度

两种独立闭环XY和Z平板式扫描

平板式和线性XY扫描可达100μm x 100μm，且残余压弯小

整个扫描范围内的异面移动小于2nm

强力扫描器达25μm Z扫描范围

精确的高度测量

Non-Contact™（真正非接触^TM）模式延长针尖使用寿命、改善样品保存及精度

其Z扫描频宽是压电管基础系统的10倍

非接触式可降低针尖磨损、延长使用寿命

成像分辨率高于同类原子力显微镜

降低样品干扰，提高扫描精度

提供最佳用户体验

开放式侧面接入，提高样品及针尖更换效率

预对准的针尖安装和独一无二的轴上俯视法可简单直观地实现激光对准

燕尾锁封片方便镜头拆卸

界面带自动设置功能，方便用户使用

多种模式与选项

综合性测量模式及特性设置，是我司最佳通用型原子力显微镜

多种可选配件及更新，扩展性能优越

为缺陷分析提供先进电气测量

产品特点

100um x 100 um扫描范围的XY柔‘性导向扫描器

XY扫描器含系统二维弯曲及强力压电堆叠，可使极小平面外移动形成较大的正交运动，并能快速响应，实现精确的样品纳米级扫描。

柔性导向强力Z扫描器

在强力压电堆叠的驱动及弯曲结构的引导下，其硬度允许扫描器高速竖直运动，较传统原子力显微镜扫描器更加高速。最大Z型扫描范围搭配远程Z扫描器（选配）可延长12μm至25μm。

滑动连接的超亮二极管头

通过将原子力显微镜头沿楔形轨道滑动，可轻松将其插入或取出。低相干的超发光二极管头可实现高反射表面的精确成像和力-矩光谱的精确测量。超亮二极管头的波长帮助减轻干扰问题，因此用户在可见光谱实验中也可使用本产品。

多样品夹头

特殊设计的多样品夹头，做多可承载16个独立样品，由多重采样扫描器自动按顺序扫描。特殊的夹头设计为接触样品针尖预留了边通道。

选配编码器的XY自动样品载台

自动集成XY载台可轻松并精确控制样品的测量位置。XY样品载台的行程范围可配置为150 mm x 150 mm或200 mm x 200 mm。若搭配自动载台使用编码器，可提高样品定位的精确度和重复性。编码XY载台工作时分辨率为1 μm，重复率为2 μm。编码Z载台的分辨率为0.1 μm，重复率为1 μm。

高分辨率数码变焦感光元件摄像头

高分辨率数码感光元件摄像头利用直接同轴光学，具备变焦功能，无论是否摇摄均可确保图像具有清晰的成像质量。

垂直对齐的自动Z载台及聚焦载台

Z载台和聚焦载台可将悬臂啮合到样品表面上，同时确保用户视野清晰稳定。聚焦载台是由软件控制自动运行的，因此满足透明样品及液态元件应用所需精度。

弯曲基底解耦XY和Z扫描器

Z扫描器与XY扫描器完全解耦。XY扫描器在水平面上移动样品，同时Z扫描器竖直移动探针。

此配置以最小异面移动，实现了平板式XY扫描。此XY扫描同时还具有高正交性与线性。

业内最低本底噪声

为探测最小样品的特性，帮助最快运动平面成像，Park Systems设计了业内0.5A以下的最低本底噪声标准设备。使用“零扫描”探测本地噪声数据。

真正非接触模式延长针尖使用寿命

XE系列原子力显微镜已成功搭配专利强力Z扫描系统独有的真正非接触模式。真正非接触模式下，使用的是相吸而非相排斥的内部原子力。 

真正非接触模式因此成功地保持了针尖样品纳米级间距，改善了原子力显微镜图像，保持针尖的锐利，因此有效延长了针尖使用寿命。

预对准悬臂支撑

预先安装在探针支撑上，因此不需要严格对齐激光束。

高分辨率的直接同轴光学元件

用户可直接俯视观看样品，操控样品表面，从而很容易就能找到目标区域。高分辨率数码摄像头具备变焦功能，无论是否摇摄均可确保图像具有清晰的成像质量。

带DSP控制芯片的XE控制电子元件

原子力显微镜发出的纳米级信号将由高性能Park XE电子元件控制并处理。Park XE电子元件为低噪声设计，配备高速处理单元，可成功实现真正非接触™模式，是纳米级成像及电压电流精准测量的理想选择。 

600 MHz、4800 MIPS速度的高性能处理单元

低噪声设计，适合电压电流精准测量

-通用系统，各SPM技术均可得到应用

外部信号接入模块，存取原子力显微镜输入/输出信号

最多16个数据成像

最大数据尺寸：4096 x 4096像素

16位ADC/DAC，速度达500 kHz

TCP/IP连接，隔离计算机接出电噪

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