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Si片外延AIN薄膜（Si+AlN dia4"）

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品牌名称: 合肥科晶

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产品详情

产地：: 美国

型号：: Si片外延AIN薄膜（Si+AlN dia4"）

产品名称：	Si片外延AlN膜
产品简介：	Si片外延AlN膜是通过HVPE方法生长，其实验衬底效果已日渐取代AlN单晶基片
技术参数：	AlN厚度：200nm ±10%, 单面镀膜正面： <2nm RMS, as-grown背面：silicon as receivedAlN晶向：(00.2) 宏缺陷密度：<10/cm^2 薄膜衬底：Si [111] N type, dia 4" x0.5 mm, 电阻res: 1~10 ohm-cm, 单抛
常规尺寸：	dia 4" x0.5 mm,单抛；
标准包装：	1000级超净室，100级超净袋或单片盒封装

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