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微米级粗糙度共聚焦显微镜

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品牌名称
中图仪器
厂家区域
广东深圳市
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所在地区:广东 深圳市

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深圳市中图仪器股份有限公司

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产品详情
产地:
深圳
型号:
VT6000系列

中图仪器VT6000微米级粗糙度共聚焦显微镜结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统,主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。在相同物镜放大的条件下,共焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细,横向分辨率更高。它具有直观测量的特点,能够有效提高工作效率,更加快捷准确地完成日常任务。借助共聚焦显微镜,能有效提高工作效率,实现更准确的操作。

微米级粗糙度共聚焦显微镜


产品功能

1)3D测量功能:设备具备表征微观3D形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能;

2)影像测量功能:设备具备二维平面轮廓尺寸的影像测量功能,可进行长度、角度、半径等尺寸测量;

3)自动拼接功能:设备具备自动拼接功能,能够实现大区域的拼接缝合测量;

4)数据处理功能:设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能;

5)分析工具功能:设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)批量分析功能:设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能,可实现批量数据文件的快速分析功能;

7)便捷操作功能:设备配备操纵杆,支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等;

8)光源安全功能:光源设置无人值守下的自动熄灯功能,当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源,防止光源高亮过热损坏,并有效延长光源使用寿命;

9)镜头安全功能:设备配备压力传感器,并在镜头处进行了弹簧结构设计,确保当镜头碰撞后弹性回缩,进入急停状态,大幅减小碰撞冲击力,有效保护镜头和扫描轴,消除人为操作的安全风险。


性能特点

1、高精度、高重复性

(1)以转盘共聚焦光学系统为基础,结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统,保证仪器的高测量精度。

(2)仪器的隔震设计能够消减底面振动噪声,仪器在部分环境中稳定可靠,具有良好的测量重复性。

2、一体化操作的测量分析软件

(1)测量与分析同界面操作,无需切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能。

(2)可视化窗口,便于用户时事观察扫描过程。

(3)结合自定义分析模板的自动化测量功能,可自动完成多区域的测量与分析过程。

(4)几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全。

(5)一键分析、多文件分析,自由组合分析项保存为分析模板,批量样品一键分析,并提供数据分析与统计图表功能。

(6)可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D\3D参数。

3、精密操纵手柄

VT6000微米级粗糙度共聚焦显微镜集成X\Y\Z三个方向调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

除软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,保护仪器,降低认为操作风险。

微米级粗糙度共聚焦显微镜


应用领域

可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

不同应用场景下的3D形貌

VT6000微米级粗糙度共聚焦显微镜主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中,其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。

3D形貌图片:

微米级粗糙度共聚焦显微镜

影像测量功能界面

微米级粗糙度共聚焦显微镜


部分技术指标
型号VT6100


行程范围

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
仪器重量50kg
测量原理共聚焦光学系统
显微物镜10×;20×;50×;100×
视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm


高度测量

重复性(1σ)12nm
显示分辨率0.5nm


宽度测量

重复性(1σ)40nm
显示分辨率1nm
XY位移平台负载10kg
控制方式电动
Z0轴扫描范围10mm
物镜塔台5孔电动
光源白光LED


恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。


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