- 产地:
- 深圳
- 型号:
- SuperViewW系列
从半导体晶圆到3C玻璃屏,白光干涉三维轮廓仪如何实现“无损”精准检测?

在半导体制造、3C电子加工及光学元件研发等领域,表面粗糙度的微小偏差都可能决定产品的最终性能与良率 。然而,传统的接触式测量往往面临划伤样品、无法测量微观复杂结构的痛点。白光干涉仪(光学3D表面轮廓仪)凭借非接触式测量优势,为您提供覆盖多行业的解决方案:
1.半导体领域:针对超光滑硅晶片表面,设备可实现0.1nm及以下的最小可测粗糙度 。非接触式原理避免了探针划伤风险,即使是0.2nm级别的超光滑表面也能实现“无损伤精准扫描” 。
2.3C电子与光学:无论是3C玻璃屏的触控灵敏度关联测量,还是光学镜片的超精密检测,都能依据ISO 25178标准自动计算出Ra、Rz、RMS等关键参数 。
3.微观复杂结构:利用Z向扫描模块与3D建模算法,设备能从底部到顶部逐层采集,精准还原纳米级的微观起伏 。
选择白光干涉三维轮廓仪,就是选择一种更安全、更精密的产品质量管控方式 。
白光干涉三维轮廓仪由深圳市中图仪器股份有限公司 为您提供,如您想了解更多关于白光干涉三维轮廓仪报价、参数等信息 ,欢迎来电或留言咨询。


















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