第1年
1000℃小型RTP炉--OTF-1200X-4-RTP
自动精密研磨抛光机--Unipol-1202
1500℃小型管式炉-GSL-1500X-50
高速振动球磨机
300W射频等离子磁控溅射镀膜仪--VTC
晶体生长炉
1700℃管式炉--GSL-1700X
单片晶圆盒
- 产地：
- 安徽
- 型号：
- DZF-6020
DZF-6020-HT是一款通过CE认证的真空干燥箱，其最高工作温度可以达到500摄氏度。仪器上安装有50-500ml的浮子流量计，可以往腔体内通入各种气，仪器壳体后面安装有各种标准接口，分别可与气瓶管道和真空泵相连接。保温材料采用氧化铝纤维，纯净度高，外壳采用加厚优质Q235钢板喷塑，仪器上安装有浮子流量计
| 电源 | 220VAC |
| 功率 | 1800W |
| 工作温度 | 50~500°C |
腔体和门 | 工作腔体尺寸： 300 mm x 300 mm x 275mm，25L 腔体壁采用镜面不锈钢制作 采用氟胶密封圈进行密封 腔体内有两个可拆卸不锈钢支架 |
温控系统 | 采用PID方式调节，可设置30段升降温程序，并带有过热保护 控温精度：+/- 3°C （点击图片查看详细资料） |
真空与气路 | 进气端为1/4”不锈钢管，带有控制进气的截止阀 50-500ml/min的浮子流量计 抽气口为KF-25接口 采用双级旋片真空泵抽真空、真空度能到133Pa |
水冷系统 | 采用循环水的密封圈进行冷却， 冷却水管直径为Φ6.35， 特别推荐选购本公司的循环水冷机KJ-5000，可以节省大量的水源（请节约每一滴水） |
机械真空泵 （可选） | 可以选购双旋机械泵与干燥箱配套使用 可使得干燥箱腔体内的真空度< 133pa (2 torr) 功率：550W |
| 注意 | 此设备在高温的时候不锈钢腔体内壁上会出现黑色，腔体会发生微变形，但是不影响设备的正常使用 |
| 外形尺寸 | L:590 x W:490 xH: 450 mm |
，可通气氛，控温仪表采用28段程序控温.
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