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产品名称： | Si上镀Al薄膜（Aluminum?Film?on?Silicon?Wafer） |
常规尺寸： | dia 4" ±0.5 mm x 0.525 ±0.025 mm |
技术参数： | Al薄膜厚度：3um 薄膜电阻率：2.65 micro ohm-cm 薄膜结晶：Weak (111) - oriented poly-crystals 薄膜表面粗糙度：4.87 nm and < 10 nmSi 导电类型：N型Si 电阻率：<0.005?ohm-cm?；1-10ohm-cm? Si晶向：<100>±0.5°抛光情况：单抛
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标准包装： | 1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装 |
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