第1年
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日立U-2900/2910双光束分光光度计
日立U-5100比例光束分光光度计
日立中型扫描电镜SU3800
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日立 AFM5500M全自动型原子力显微镜
超高分辨场发射扫描电子显微镜Regul
- 产地：
- 日本
- 型号：
- DI4600
日立DI4600暗场晶圆缺陷检测系统专为半导体生产线设计，通过片状光束光学与空间滤光片技术实现高灵敏度与高吞吐量检测，适用于300毫米晶圆的大批量生产。其核心卖点包括卓越的缺陷检出能力、工具间高匹配性能，以及简化检查配方的操作流程，可有效管控尖端存储器和逻辑芯片的良率。该系统以车队运营优化设计支撑半导体工厂的在线缺陷管理，但未明确提及非图案化晶圆或更小尺寸晶圆的兼容性。
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