- 产地:
- 日本
- 型号:
- CR7300
日立CR7300高速缺陷观测设备(Defect Review SEM)是一款专为半导体晶圆缺陷分析设计的扫描电镜,集成自动缺陷检测(ADR)和分类(ADC)功能,通过高精度坐标定位自动获取、存储并分类缺陷图像,显著提升良率管理效率。其核心卖点包括高解析度SEM成像、高速ADR摄像(支持裸晶圆检测)以及人性化GUI操作界面,可选配ADC模块实现实时分类。设备支持与良率管理系统(YMS)联动,为故障分析提供数据支持,但需依赖前期检测系统的缺陷坐标输入。适用于Inline制程的快速缺陷观测与分类需求。

















第1年
通过仪器仪表网认证 



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