- 产地:
- 日本
- 型号:
- CR7300
日立CR7300高速缺陷观测设备(Defect Review SEM)是一款专为半导体晶圆缺陷分析设计的扫描电镜,集成自动缺陷检测(ADR)和分类(ADC)功能,通过高精度坐标定位自动获取、存储并分类缺陷图像,显著提升良率管理效率。其核心卖点包括高解析度SEM成像、高速ADR摄像(支持裸晶圆检测)以及人性化GUI操作界面,可选配ADC模块实现实时分类。设备支持与良率管理系统(YMS)联动,为故障分析提供数据支持,但需依赖前期检测系统的缺陷坐标输入。适用于Inline制程的快速缺陷观测与分类需求。

















第1年
通过仪器仪表网认证 



Quorum 冷冻传输系统PP3010T
日立F-2710荧光分光光度计
日立高新磁控溅射器MC1000
日立5100N通用多功能原子力显微镜
高效液相色谱仪 Chromaster 有机酸
Chromaster 5610质谱检测器
离子研磨系统ArBlade5000
聚焦离子束(FIB)微型采样系统用于ST
日立氨基酸分析仪LA8080

鲁公网安备37021402001368号