第1年
- 元素范围：
- B-Am
- LLD：
- 0.1 ppm - 100%
- 分辨率 (Mg-Ka)：
- 35eV
马尔文帕纳科Malvern PanalyticalX射线荧光光谱仪(XRF)
特点
持续的性能和速度
4 kW SST-mAX X 射线管配备了突破性的 ZETA 技术，可以消除 X 射线管老化效应。 这种“全新射线管”性能可以在 X 射线管整个寿命期间得到保持，同时高灵敏度与 ZETA 技术相结合，确保了在 X 射线管寿命期间可以一直提供快速的分析和简短的测量时间。 ZETA 技术显著减少了对于漂移校正和重新校准的需求，从而提高了仪器的生产率和正常运行时间。
正常运行时间大大提升
传统 X 射线管会出现钨灯丝挥发，从而导致光管铍窗内部出现沉淀物污染铍窗。 使用此类 X 射线管的仪器需要定期进行漂移校正以补偿下降的强度，尤其是对于轻元素而言。
2830 ZT 采用 SST-mAX 射线管解决了这一漂移问题，从而大大提升了正常运行时间并能够随着时间的推移维持仪器精度。
易于使用
2830 ZT 配置SuperQ 软件，该软件包含了 FP Multi - 一个专门针对多层分析开发的专用软件包。 该软件的用户界面确保即使是没有经验的操作员也可以对多层进行全自动的基本参数分析。
该仪器的 SuperQ 软件具有多种易于使用的模块，这些模块能够方便研究者和工程师进行灵活的操作。 可以轻松切换配方和调整设备参数以适应用户偏好。
FALMO-2G
FALMO-2G 可轻松集成到任意实验室或晶片厂中：从简单的人工托架装载到全自动。 完全灵活的设计让晶片厂经理能够选择 FOUP、SMIF 或开放式装入端口，配有一个或两个装入端口配置。 各种配置的 FALMO-2G 均受到符合 GEM300 的软件支持。 FALMO-2G 的占地空间大大降低，而没有损失灵活性、功能。
应用
灵活操作
该仪器的 SuperQ 软件具备多种易用使用的模块，这些模块能够方便研究者和工程师进行灵活的操作。 可以轻松切换配方和调整设备参数以适应用户偏好。
技术指标
| 样品处理 | X 射线管 | 通道 | 安装 |
|---|---|---|---|
| 直接进样 100 - 300 毫米的晶片；较小的尺寸可以通过特殊适配器处理 | SST-mAX75，超尖锐端窗射线管，SST-mAX50 为选配 | zui多 24 个固定通道 | 符合 SEMI S2/S8 |
| FOUP、SMIF、开放式载盘和手动进样选项可用 | 测量点尺寸 40 和 10 mm；可以测量其他点尺寸 | zui大值(M) 2 个测角仪 | 符合 SECS/GEM |
| 高达每小时 25 块晶片的样品处理能力 | Zeta 技术 | 高性能硼通道，以获得高灵敏度和处理量 |
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适用于 B、C、N、O、F、Mg、Wsix、TiSix、CoSix 的专用高性能通道，具有高灵敏度和高处理量 |
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氩气/甲烷混合气体 |
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流气探测器 | |
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封闭式计数器 |
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扫描仪 10 º-100 º 2θ |
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带有 300 µm 铍窗的闪烁式探测器 |
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支持
服务
提升投资回报的解决方案
为确保您的仪器保持好的状态并发挥高性能，马尔文帕纳科提供了广泛的服务。 我们的专业知识和支持服务可确保您的仪器性能。
支持
生命周期服务
- 电话和远程支持
- 预防性维护和检查
- 灵活的客户服务协议
- 硬件和软件升级
- 本地和全球支持
专业知识
帮助您提升工艺价值
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分析方法
- 咨询服务
培训和教育
- 在现场或我们的能力中心开展培训
- 广泛的基础和高级课程，涵盖产品、应用和软件
分析服务和校准材料
- 专家 (XRF) 分析服务
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