美国SVT 脉冲激光沉积设备/PLD

型号：

PLD-01/PLD-02

产地：

美国

●SVT SMART（Scientific Materials and Applied Research Tool）脉冲激光沉积系统具有独一无二的优越性。它可以把激光烧蚀技术和我们所拥有的其他沉积技术（如RF源）集成于一台设备上。可以生长各种可能的材料。

● 配有6个旋转靶台，实现多层薄膜结构生长。

● 可与准分子激光和Yag激光相连。

● 在线监控仪器做为可选件，为客户提供高质量的工艺信息反馈。

● 装载室不但可以装取样品，还可以与其他生长设备或分析设备相连。

应用

● 多元素复合氧化物

● 高温超导材料

● 磁性材料、金属材料

● 低蒸汽压材料

● MEMS

基本系统

腔室及真空泵

    12’’ 快速门，250l/s 分子泵，全量程规

沉积源

  靶台，6X1’’(25mm) 靶，可以水平旋转，

可Z方向移动

样品台

    1’’(25mm)大小，可加热至800^oC（1000^oC可选），可水平旋转，可Z方向移动

在线工艺监控

  石英晶振沉积速率监控仪

自动化

自动化装置：

  控制样品温度和旋转

  靶台的位置控制

  靶台旋转

  气体控制

  速率及厚度计算（利用QCM输出）

  激光束扫描（可选）

  激光束屏蔽控制

  自动泵抽和充气

  差分泵抽结构

    RHEED分析（可选）

  装载室压强监控（可选）

主要特点
RF射频等离子源(氧,氮)
升级高真空
增加进样室
升级为Laser-MBE （L-MBE）系统
自动软件控制

提供更洁净的薄膜生长环境,完美的温度控制解决方案.

注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途