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PLD 脉冲激光沉积系统(PLD激光分子束外延系统)

价格 1000000.00元/
供应总量
0
zui小起订
0
品牌名称
Neocera
厂家区域
辽宁朝阳市
发货期限:
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所在地区:辽宁 朝阳市

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产品详情
型号:
Pioneer 180 Laser MBEPLD System
产地:
美国

名称:脉冲激光沉积系统
品牌:Neocera
产地:美国
型号:Pioneer 180 Laser MBEPLD System

Neocera Pioneer 系列 PLD 系统— 基于卓越经验的创新设计
Neocera 利用PLD 开展了深入广泛的研究,建立了获得zui佳薄膜质量的临界参数,特别适用于沉积复杂氧化物薄膜。
这些思考已经应用于Pioneer 系统的设计之中。
? 很多复杂氧化物薄膜在相对高的氧压(>100 Torr)下冷却可获得更高的质量。所有Pioneer 系统都具备此功能(压力范围可从额定初始压强到大气压)。这也有益于纳米粒子的生成。
? Pioneer PLD 系统的激光束入射角为45°,保持了激光密度在靶材上的zui大均匀性,同时避免使用复杂而昂贵的光学部件。更大的入射角能够拉长靶材上的激光斑点,导致密度均匀性的损失。
? 为了避免使用昂贵的与氧气兼容的真空泵,消除油的回流对薄膜质量的影响,所有Pioneer 系统的标准配置都采用无油泵系统。
? 我们的研究表明靶和基片的距离是获得zui佳薄膜质量的关键参数。Pioneer 系统可以控制靶材和基片的距离,以达到zui优的沉积条件。





Pioneer240

Pioneer180

 Pioneer120A


zui大wafer 直径

8”

6”

2”

zui大靶材数量

6 个1” 或3 个2”

6 个1” 或3 个2”

6 个1” 或3 个2”

压力(Torr) *

5*10-8

5*10-9

5*10-9

真空室直径

24”

18”

12”

基片加热器

360°旋转

360°旋转

360°旋转

zui高样品温度

850 ℃

850 ℃

950 ℃

Turbo 泵抽速*
(liters/sec)

700

软件控制

400

软件控制

260

软件控制

计算机控制

包括

包括

包括

基片旋转

包括

包括

选件

基片预真空室

包括

选件

选件

扫描激光束系统

包括

选件

-

靶预真空室

包括

选件

-

IBAD 离子束辅助沉积

选件

选件

选件

CCS 连续组成扩展

选件

选件

-

高压RHEED

选件

选件

选件

520 liters/sec 泵

N/A

选件

-

... ...






注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

售后服务承诺

免费上门安装:是

保修期:1年

是否可延长保修期:否

保内维修承诺:0

报修承诺:0

免费仪器保养:有

免费培训:有

现场技术咨询:有

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