WinWInTec白光干涉形貌仪

测量原理

白光干涉

纵向测量范围   (um)

可达400   um

摄像头参数

CCD摄像头；1936   x1216像素

光源 (um)

LED 542，高亮度，软件控制

纵向分辨率   （nm）

PSI模式：0.1， VSI模式： 1.0

zui大扫描速率（um/s）

48

  Z轴方向20um距离测量时间

小于3s

测量头外形尺寸(mm3)：

235x80x128(HxWxD)

干涉物镜

放大倍数MAG

2.5X

5X

10X

20X

50X

100X

数值孔径NA

0.075

0.13

0.30

0.40

0.55

0.70

工作距离WD (mm)

10.3

9.3

7.4

4.7

3.4

2.0

视场范围FOV (um)

7023X4524

3601X2262

1800   X1131

900x565

360x226

180x113

像素大小(um)

3.72

1.86

0.93

0.47

0.19

0.09

横向分辨率(道斯判据) (um)

3.61

2.08

0.90

0.68

0.49

0.39

软件系统

SmartWLI测量软件

基于微软Win7操作系统，64位表面形貌测量软件、三维形貌数据直接传输至MountainsMap®分析软件。

SmartWLI-Dell系统

Dell计算机 + 形貌测量软件，支持主流分析软件：MatLab 或 LabVIEW

MountainsMap®分析软件

主流形貌分析软件，三维轮廓影像输出、测量数据预处理及后续处理、德标（DIN）欧标（   EN） ISO标准粗糙度及台阶高度测量、串行处理并生成报告。

输出文件格式

ASCII,   SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF