一、应用领域
半导体制造、玻璃镀膜、太阳能电池、电子显微镜、冶金、等离子技术、医疗设备等领域
二、技术指标
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型号 | CXF-320/3000 |
抽气速率（L/s） | 3000 |
排气口法兰 | KF40 |
进气口法兰 | ISO‐F 320（其它法兰口需要定制） |
DN320LF | |
极限压强 | ≦5×10‐7Pa |
建议启动压强 | <5Pa |
额定转速（rpm） | 21000 |
启动时间（min） | 12 |
振动值（μm） | <0.05 |
建议前级泵（L/s） | 15 |
水嘴 | 内径Φ10直插自密封 |
冷却方式 | 水冷 |
冷却水温度（°C） | 20 |
冷却水流量（ L/min） | 1 |
冷却水压力（mpa） | 0.15 |
环境温度（°C） | 5～45 |
安装方式 | 竖直、水平、倒立 |
重量（kg） | 70 |
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
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