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CXF-320/3000型磁悬浮分子泵

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品牌名称: 中科科仪

厂家区域: 北京

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产品详情

型号：: CXF-320/3000

产地：: 北京

一、应用领域

半导体制造、玻璃镀膜、太阳能电池、电子显微镜、冶金、等离子技术、医疗设备等领域

二、技术指标

?

型号	CXF-320/3000
抽气速率（L/s）	3000
排气口法兰	KF40
进气口法兰	ISO‐F 320（其它法兰口需要定制）
	DN320LF
极限压强	≦5×10^‐7Pa
建议启动压强	<5Pa
额定转速（rpm）	21000
启动时间（min）	12
振动值（μm）	<0.05
建议前级泵（L/s）	15
水嘴	内径Φ10直插自密封
冷却方式	水冷
冷却水温度（°C）	20
冷却水流量（ L/min）	1
冷却水压力（mpa）	0.15
环境温度（°C）	5～45
安装方式	竖直、水平、倒立
重量（kg）	70

注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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