第1年
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FF-100/110型脂润滑分子泵应用于航
KYKY-EM6900LV系列扫描电子显微镜
ZQJ-2000型氦质谱检漏仪应用于电力
ZDF-11B5真空计环保工程
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ZQJ-3200型氦质谱检漏仪应用于医学
FF-63/80型仪器分子泵应用于电子显
ZDF-52B5真空计应用于半导体行业
- 产地：
- 北京
- 型号：
- FF-250/2000型
FF-250/2000型脂润滑分子泵
应用领域：
半导体制造：真空分子泵可以用于半导体加工和制造过程中，例如制造晶体管、集成电路等产品特点
任意角度安装，便于系统集成，紧凑型结构
复合抽气结构，高前级压强下仍保持较大抽速
高强度转子，适用于复杂工业过程
使用方便、应用范围广、性能稳定
技术指标:
| 进气口法兰 | DN250 CF DN250 ISO-K | 排气口法兰（ISO-KF） | DN50 |
| 抽速速率（L/s） | N2：2000 He：1600 H2：740 Ar：1900 | 压缩比 | N2: 1E8 He：1E4 H2：1E3 Ar：1E9 |
| 极限压强（Pa） | CF：6E-7 ISO-K：6E-6 | 最大连续前级压强（Pa） | 200 |
| 最大前级压强（Pa） | N2：650 | 最大气载量（sccm） | N2：3200 He：2400 H2：1850 Ar：1200 |
| 额定转速（RPM） | 24000 | 启动时间（min） | ≤9 |
| 冷却方式 | 水冷 | 冷却水流量（L/min） | ≥1 |
| 冷却水温度（℃） | ≤25 | 电源电压（VAC） | DC24/AC220 |
| 最大功率（W） | ≤750 | 适配电源型号 | FD-II、FD-IIB、TCDP-II、TD-II |
| 建议前级泵（L/s） | 15 | 重量（kg） | 32(LF) 35(CF) |
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