牛津仪器将亮相西湖大学光电技术论坛，展示刻蚀沉积与微区分析方案

     【中国仪器仪表网 厂商新闻】2026年11月11—13日，由西湖大学光电研究院主办的光电技术与产业发展论坛暨“浙创赛”智能光电专项赛将在杭州富阳举行。活动以“论坛+赛事”模式打通qian沿科研、工艺验证、产业转化闭环。牛津仪器将作为展商参展，展示等离子体刻蚀、薄膜沉积及影像分析方案。

　　牛津仪器重点产品包括witec360拉曼显微镜、Jupiter Discovery原子力显微镜、Ultim Max Infinity能谱仪、Symmetry S3 EBSD探测器和CB2 High Res、iKon-M相机。

　　其等离子体刻蚀设备率先通过6英寸磷化铟边发射激光器量产验证，ICP、RIE设备用于光通讯激光器、接收器和探测器，可实现光栅、脊波导、台面、背面透镜等结构刻蚀，并兼容介质层刻蚀；同时提供PECVD、ICPCVD、IBD、ALD沉积设备。影像分析产品涵盖EDS、EBSD、纳米压痕、拉曼、原子力显微镜和科学级相机，可获取元素、物相、晶体取向与应变分布等数据，服务xian进封装、半导体材料与器件研发及失效分析。