扫描电镜（SEM）样品镀膜：靶材与厚度选择指南

    【仪器信息网 专题推荐】在扫描电镜（SEM）样品制备中，镀膜是解决非导电样品（如生物组织、高分子、陶瓷）荷电效应、减少热损伤、增强二次电子信号的关键步骤。选择合适的靶材和厚度，直接影响图像质量。

　　- **靶材选择**：

　　- **金（Au）**：导电性极佳，化学稳定，适合常规钨灯丝SEM及低倍观察，但金颗粒较大，会干扰高分辨成像和EDS分析。

　　- **铂（Pt）/铂钯合金**：颗粒细小，适用于场发射SEM（FE-SEM）的高分辨成像，但价格较高，对真空度要求严格。

　　- **碳（C）**：轻元素，不干扰EDS、EBSD等元素分析，适合分析型样品，但信号增强能力较弱。

　　- **厚度选择**：

　　- **常规观察（5-10 nm）**：兼顾导电与细节，金靶8-10 nm，铂靶约5 nm。

　　- **高分辨成像（2-5 nm）**：配合铂靶使用，保留纳米级细节。

　　- **强导电需求（10-20 nm）**：用于多孔、粉末或长时间观察的样品。

　　此外，镀膜仪可提供精准的金属或碳镀膜，满足从常规到超高分辨的多种需求。合理搭配靶材与厚度，是获得清晰、无伪影SEM图像的关键。