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日立新品发布:高分辨率肖特基场发射扫描电镜“SU3900SE”、“SU3800SE”系列

来源:仪器仪表网 作者:郑大 日期:2024-12-10 23:50:46
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  【中国仪器仪表网 新品发布】近日,“日立高新技术” 发布高分辨率肖特基场发射扫描电镜“SU3900SE”、“SU3800SE”系列 ,可对大型重型样品进行纳米级高精度和高效观察。

  本系列zui大可观察样品重量达到 5 kg。此外,通过搭载日立高新技术 SEM*1系列中zui大级别的马达台,可以对直径 300 mm、高度 130 mm 的大型样品进行观察,从而减少切割样品等加工工序,实现高效的观察工作。并且,新产品在可以进行大型重型样品观察的同时,还兼具马达台 5 轴(左右、前后、上下、倾斜、旋转) 移动。此外,通过搭载相机导航功能,可以将一系列单独拍摄的图像拼接在一起从而观察样品全貌,支持观察大型样品时的视野搜索*2,有助于提高操作性。

肖特基场发射扫描电镜“SU3900SE”、“SU3800SE”系列

  肖特基场发射扫描电镜“SU3900SE”、“SU3800SE”系列 主要特点

  (1) 大型重型样品的大范围观察

  通过对大型重型样品观察的马达台,日立高新技术的大型SEM实现了对直径300 mm、高130 mm、重量5 kg样品的观察。此外,产品既可搭载大型重型样品又具备5轴移动的功能。

  (2) 使用光学相机图像的进行简单的大范围移动

  使用光学相机导航系统可覆盖整个马达台的移动范围,轻松确定样品位置。此外,光学相机图像也可以随马达台而旋转,从而轻松移动样品位置,并在 SEM 图像中顺利观察到样品位置。

  (3) 获取大量数据时减轻用户负担

  配备可选功能“EM Flow Creator”,可视需要组合倍率和马达台位置等条件设置、焦距及对比度等调整功能,创建一系列观察菜单。通过执行创建的菜单,可进行自动观察,有助于减轻用户的操作负担,并在连续图像采集过程中节省人力。


 
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