- 产地:
- 日本
- 型号:
- SI-F80R
精密制造业主要有精密和超精密加工技术和制造自动化两大领域,前者追求加工上的精度和表面质量极限,后者包括了产品设计、制造和管理的自动化,它不仅是快速响应市场需求、提高生产率、改善劳动条件的重要手段,而且是保证产品质量的有效举措,两者有密切关系,许多精密和超精密加工要依靠自动化技术得以达到预期指标,而不少制造自动化有赖于精密加工才能准确可靠地实现。两者具有全局的、决定性的作用,是先进制造技术的支柱。
采用近红外 SLD,即使已贴附 BG 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异,也可实现准确的生产线上测量。
产品特性即使已贴附背面研磨带也可测量晶片厚度
大幅降低图案的影响
可在生产线上进行测量
自动映射整个晶片的厚度分布
精确的只测量晶片厚度















第1年


基恩士 CL-3000 彩色激光同轴位移计
基恩士 GT2 高精度接触式数字传感器
精选
基恩士 PR-M/F 超小型放大内置型光
基恩士 LJ-V7000系列 超高速轮廓测
基恩士 VK-X3000 形状测量激光显微
基恩士 WI-5000 干涉式同轴 3D 位移
基恩士 SR-D100系列 固定安装式二维
基恩士 PR-M/F 超小型放大内置型光

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