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SI-F80R系列分光干涉式晶片厚度计

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品牌名称: 基恩士

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产品详情

产地：: 日本

型号：: SI-F80R

采用近红外 SLD，即使已贴附 BG 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异，也可实现准确的生产线上测量。

产品特性

即使已贴附背面研磨带也可测量晶片厚度

大幅降低图案的影响

可在生产线上进行测量

自动映射整个晶片的厚度分布

精确的只测量晶片厚度

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