- 产地:
- 深圳
- 型号:
- NS系列
中图仪器NS系列膜层厚度台阶高度测量仪亚埃级精度,为B2B行业微观测量痛点提供一站式解决方案。
一、多场景测量解决方案:覆盖全场景测量需求
1、核心参数测量:精准匹配工艺全流程
(1)台阶高度测量:适配蚀刻、溅射、沉积、CMP等工艺,精准量化材料沉积/去除量,保障工艺稳定性。
(2)粗糙度&波纹度分析:通过微观轮廓曲线计算数十项参数,满足严格质量管控标准。
(3)表面应力检测:兼容多种材料,为材料性能分析提供关键数据,助力研发创新。
2、智能测量模式:高效提升检测效率
(1)单区域测量:影像导航+一键启动,操作简单,快速完成单点精准测量。
(2)多区域批量测量:阵列式扫描路径设置,批量样品一键搞定,减少重复操作。
(3)3D可视化测量:自动完成扫描面扫描与3D图像重建,微观形貌直观呈现,便于分析决策。
(4)SPC统计分析:生成数据变化趋势图表,为批量生产质量追溯提供数据支持。
3、便捷操作设计:降低使用与维护成本
(1)双导航光学影像:500W像素彩色相机(正视+斜视可选),扫描路径精准设置,轨迹实时跟进,避免测量偏差。
(2)快速换针功能:磁吸式测针+软件快速标定,现场秒换,保障精度与重复性,减少停机维护时间。
4、广泛行业适配:聚焦核心应用场景
(1)半导体制造:沉积/蚀刻薄膜厚度测量、CMP工艺平整度检测、抗蚀剂台阶高度分析,助力芯片良率提升。
(2)光伏&显示面板:太阳能涂层膜厚检测、AMOLED屏微结构分析、触控面板铜迹线测量,适配光伏组件与显示器件生产需求。
(3)MEMS&微纳材料:微型传感器形貌表征、柔性电子薄膜厚度检测,支撑微纳器件研发与量产质控。
(4)科研与高校:材料表面应力分析、微加工工艺研发数据支撑,加速科研项目落地。
二、使用环境
相对湿度:湿度 (无凝结)30-40% RH
温度:16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)
地面振动:6.35μm/s(1-100Hz)
音频噪音:≤80dB
空气层流:≤0.508 m/s(向下流动)
NS系列膜层厚度台阶高度测量仪具有精准、高效、适配性强的核心优势。如需针对您的行业场景定制测量方案、获取详细参数或申请样品测试,欢迎随时联系中图仪器,我们将为您提供专业技术支持与咨询服务!(注:产品参数与功能可能随技术升级更新,具体以实际沟通为准)
膜层厚度台阶高度测量仪由深圳市中图仪器股份有限公司 为您提供,如您想了解更多关于膜层厚度台阶高度测量仪报价、参数等信息 ,欢迎来电或留言咨询。




















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