白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪

产地：

深圳

型号：

SuperViewW1

中图仪器SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪以白光干涉技术为原理，获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点，适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型，让3D测量变得简单。

SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；

几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。

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在科研与高端制造中，数据不会撒谎。白光干涉仪的核心竞争力在于其基于白光干涉原理的精度表现 。

核心技术参数亮点：

1.重复性：主流型号（如SuperView W1系列、WT3000）在测量Sa为0.2nm的硅晶片时，连续10次测量的RMS重复性可达0.005nm 。

2.超高分辨率：最小可测粗糙度稳定在0.1nm及以下，满足半导体芯片、光学镜片等超精密产品的严苛需求 。

3.台阶测量高精度：台阶高度测量准确度可达0.3%~0.5%，与粗糙度测量基于同一干涉原理，精度表现高度一致 。

4.国际标准背书：严格遵循ISO 25178（三维粗糙度）、ISO 10610-1:2009（台阶测量）等国际标准，确保您的数据具备行业认可度 。

为您的研发与质检提供最坚实的数据支撑，白光干涉仪用参数定义精密。

恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

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