材料台阶高度测量仪

产地：

深圳

型号：

NS系列

中图仪器NS系列材料台阶高度测量仪能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。

NS系列台阶仪凭借其强大的通用性，覆盖以下核心应用场景：

1.半导体与微电子：无论是晶圆表面的刻蚀深度、光刻胶层厚度，还是IC封装中的Bump高度与TSV深度，均能精准捕捉。

2.微纳材料研发：针对石墨烯等二维材料的极薄厚度测量，以及微流控通道的结构表征，提供亚埃级的分辨率支持。

3.光伏与面板：适用于太阳能电池栅线高度及平板显示器触控点的微观轮廓测量，支持大200mm（8英寸）样品的真空吸附固定，满足工业级检测需求。

NS系列台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

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