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- 产地：
- 韩国
- 型号：
- Park NX20
特点：
◆介质和基底的表面粗糙度测量
◆缺陷成像和分析
◆高分辨率电子扫描模式
◆3D结构边墙测量
◆精确的原子力显微镜形貌和低噪音Z探测器
规格参数：
| 型号 | Park NX20 | |
| 扫描仪 | XY扫描仪 | 100um*100um(可选10um*10um或50um*50um) |
| Z扫描仪 | 15um(可选30um) | |
| 形貌噪音 | <0.03nm(标准值0.02nm） | |
| 光学 | 物镜 | 10X（20X可选） |
| 电子 | ADC | 18个频道 4个高速ADC频道（50MSPS）24位ADC的X,Y和Z位置传感器 |
| DAC | 12个频道 2个高速DAC频道（50MSPS）20位DAC的X,Y和Z定位3个频道的集成锁定放大器 | |
| 样品台 | XY平台行程 | 150mm x 150mm；200mm X 200mm |
| Z平台行程 | 25mm | |
| 聚焦平台行程 | 15mm | |
| 样品尺寸 | 高达150mm或直径200mm最多厚20mm | |
| 物理信息 | 外形尺寸 | 820mm（长）X920mm（宽）X1280mm（高） |
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