日本电子JEOL JEM-2200FS 200kV能量过滤场发射透射电镜 系统的稳定性高

分辨率

　点分辨率
晶格分辨率

0.19 nm
0.1 nm

0.23 nm
0.1 nm

0.25 nm
0.1 nm

0.27 nm
0.14 nm

0.31 nm
0.14 nm

能量分辨率

0.8 eV（零损失 FWHM）

加速电压

160 kV，200 kV*2

电子枪

　发射体

ZrO/W(100) 肖特基式

　亮度

≧4×108 A／cm2 ?9?9 sr

　真空度

×10-8 Pa 级

　探针电流

探针直径为１ nm ，在0.5 nA以上

稳定度

　加速电压

≦1×10-6／min

　物镜电流

≦1×10-6／min

　过滤器电流

≦1×10-6／min

物镜

　焦距

1.9 mm

2.3 mm

2.7 mm

2.8 mm

3.9 mm

　球差系数

0.5 mm

1.0 mm

1.4 mm

2.0 mm

3.3 mm

　色差系数

1.1 mm

1.4 mm

1.8 mm

2.1 mm

3.0 mm

　最小焦距步长

1.0 nm

1.4 nm

1.8 nm

2.0 nm

5.2 nm

束斑尺寸

　TEM 模式

2 ～ 5 nm

７ ～30 nm

　EDS 模式

0.5 ～ 2.4 nm

1.0 ～2.4 nm

-

4 ～20 nm

　NBD 模式

0.5 ～ 2.4 nm

1.0 ～2.4 nm

-

-

　CBD 模式

0.5 ～ 2.4 nm

1.0 ～2.4 nm

-

电子束衍射

　衍射角(2α)

1.5 to 20 mrad 以上

-

　取出角

±10 °

-

倍率

　MAG 模式

×2,000 ～ 1,500,000

×2,000 ～ 1,200,000

×1,500 ～ 1,000,000

×1,200 ～ 600,000

　LOW MAG 模式

×50 to1,500

　SA MAG 模式

×10,000 ～ 800,000

×8,000 ～ 600,000

×8,000 ～500,000

×5,000 to 400,000

能量过滤像
有效视场大小

选择10eV时，最终像平面（底片)上直径为80mm
选择2eV时，最终像平面(底片)上直径为25mm

相机长度

　选区电子衍射

150 ～ 1,500mm

200 ～ 2,000 mm

250 ～ 2,500 mm

300 ～ 3,000 mm

EELS 散射

　狭缝上

1.2 μm／eV, 200 kV

　最终像平面

50 ～ 300 μm／eV, 200 kV

样品室

　移动量(XY / Z)

2mm／0.2mm

2mm／0.4mm

2mm／0.4mm

2mm／0.4mm

2mm／0.4mm

　倾斜角(X / Y) *3

±25°／±25°

±35°／±30°

±42°／±30°

±15°／±10°

±38°／±30°

　倾斜角(X)*4

±25°

±80°

±80°

±80°

±80°

EDS*5

　固体角*6

0.13 sr

-

0.09 sr

　取出角

25°

-

20°