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产品名称： | Si+SiO2+Si3N4薄膜(进口料） |
常规尺寸： | dia 50.8±0.5 mm x 0.250 ±0.025 mm |
备注： | 可按照客户要求镀膜50-1000nm； |
标准包装： 技术参数： | 1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装 |
薄膜厚度： | 双面镀300nmSiO250nmSi3N4 |
研究级别： | about 80 % useful area |
生长方法： | 在1000℃干氧法 |
折射率： | - 1.455 |
Si参数： | <100>±0.5°；P型掺B ；R：0.01-0.1 ohm-cm， |
抛光： | 双面抛光 |
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