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产品名称： | AL2O3+Ga2O3-?薄膜（Ga2O3-??EPI?Film?(?400nm)?on?Sapphire） |
技术参数： | 生长方法：Spin coating + Annealing Ga2O3-?参数：textured along (201)； 膜厚~ 400 nmAl2O3 薄膜参数：<0001> 10x10x0.5mm 单抛
|
产品尺寸： | 10x10x0.5mm |
标准包装： | 1000级超净室100级超净袋真空包装 |
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