第1年
真空机组
600mlPTFE球磨罐（外部有液氮冷却层
小型流延自动涂膜烘干机--MSK-AFA-
带有预热系统的滑动PECVD
1500℃三温区开启式管式炉--OTF-150
晶体生长炉
上下可调制制膜器
双面研磨抛光机--UNIPOL-160D
蓝宝石专用掏棒机
- 产地：
- 安徽
- 型号：
- OTF-1200X-S2-50SL
OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉，炉管为Φ50×1400mm的石英管，并配有不锈钢密封法兰，仪器最高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动，实现对原材料的蒸发/升华，及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热，最大升温速率为100℃/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
两个炉体在一个滑动轨道上，炉体最高工作温度1200℃ 每个炉体加热区为200mm,恒温区为60mm 一个滑动轨道安装在两炉体底部，可手动推动炉体滑动 仪器中配有不锈钢密封法兰 | |
总功率 | 2.5KW |
电压 | AC 208-240V 单相, 50/60 Hz, （需要20A的空气开关） |
最高工作温度 | 1200℃ |
连续工作温度 | 1100℃ |
加热&冷却速率 | 加热速率: 15°C/sec (RT - 150°C); 10°C/sec (150°C - 250°C); 7°C/sec (250°C - 350°C); 4°C/sec (350°C - 500°C); 3°C/sec (350°C - 550°C); 2°C/sec (550°C - 650°C); 1°C/sec (650°C - 800°C); 0.5°C/sec (800°C - 1000°C);冷却速率:15°C/sec (1000 - 950°C);10°C/sec (950°C - 900°C);7°C/sec (900°C - 850°C);4°C/sec (850°C - 750°C);2°C/sec (750°C - 600°C);1.5°C/sec (600°C - 500°C);1°C/sec (500°C - 400°C);0.5°C/sec (400°C - 300°C);注意: 最大加热和冷却速率是通过炉体滑动来实现的，将炉体加热到目标温度，然后滑动炉体到样品位置来实现快速加热。对样品加热后，滑动炉体，使样品暴露在加热区外，来实现快速冷却
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加热区长度 | 每个炉体的加热区为200mm |
恒温区 | 60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C) |
加热元件 | 掺钼铁铬铝合金 |
炉管 | 高纯石英管 尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL |
温度控制系统 | 两个炉体都采用PID方式来调节温度，可设置30段升降温程序。 控温仪表操作视频 设置有超温和断热偶报警 包括2个K型热电偶（已安装在炉体上） 可选:可选择控制模块MTS-02，可使用电脑来控制炉体的升降温 |
真空法兰 | 仪器中包含一对不锈钢密封法兰，法兰上安装有机械压力表 可选购KF25接口的法兰（提高抽气速率)，防腐型真空计 |
滑轨长度 | 1200mm |
真空度 | 10E-2 torr（采用机械泵） |
（点击图片查看详细资料）
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