近距离蒸发镀膜 （ CSS）炉

真空法兰

真空法兰材质为316不锈钢制作

顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口

底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口

法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封，通过真空度可达10-2 torr两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动

一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可精确测量腔体内真空度

                          （点击图片查看详细资料）

混气系统

可以选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用（本公司生产多路浮子和多路质子混气系统）
               

加热元件和载样台

由两组IR红外灯管进行加热

额定功率800 W     总功率：1600W 

为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上

一个3"的基片载样台安装腔体顶部

紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀

3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料 
    

热电偶

两个K型热电偶分别安装在上下法兰上

温控系统

两个控温系统都为PID30段程序化控温

可以选购PC控温软件，将温度程序设置和温度曲线导入电脑中

工作温度

两个加热区域单独工作的最高温度：      <= 650oC

两个加热区域最大温差:  <= 350 oC

加热和冷却速率

加热速率:   > 8  oC /S

冷却速率:   > 10  oC /S  ( 600 - 100oC)

电源

208 - 240VAC, 单相, （需20A的空气开关）

可选配件

 本公司出售真空泵和水冷系统