第1年
通过仪器仪表网认证 
日立高新扫描电子显微镜FlexSEM 100
日立ZA4000系列原子吸收分光光度计
日立F-7000荧光分光光度计
HD-2700球差校正扫描透射电子显微镜
热重-差热同步热分析仪 STA7000系列
超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU86
日立120kV透射电镜HT7800
日立 DI4600暗场晶圆缺陷检测系统
日立ZA3000系列原子吸收分光光度计
- 产地：
- 日本
- 型号：
- 9000系列
日立9000系列半导体蚀刻系统专为20纳米以下先进制程设计，支持双重图案、3D结构及新材料的高精度复杂工艺，涵盖后道处理与保护膜形成。其模块化串接式平台整合9个腔室，采用成熟的微波ECR等离子体技术，确保工艺扩展性与灵活性，适配未来450mm晶圆标准。统一接口设计和高精度模块化腔室增强了设备兼容性，助力客户平滑升级。核心卖点包括量产验证的稳定性、工艺弹性及面向下一代器件的标准化平台，但需注意实际规格可能与图示存在差异。
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￥400000.00/
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企业名片日立9000系列半导体蚀刻系统专为20纳米以下先进制程设计，支持双重图案、3D结构及新材料的高精度复杂工艺，涵盖后道处理与保护膜形成。其模块化串接式平台整合9个腔室，采用成熟的微波ECR等离子体技术，确保工艺扩展性与灵活性，适配未来450mm晶圆标准。统一接口设计和高精度模块化腔室增强了设备兼容性，助力客户平滑升级。核心卖点包括量产验证的稳定性、工艺弹性及面向下一代器件的标准化平台，但需注意实际规格可能与图示存在差异。
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