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国仪量子 国产高性能、应用广泛扫描电子显微镜 SEM3200

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品牌名称
国仪量子
厂家区域
安徽合肥市
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店铺信息

所在地区:安徽 合肥市

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国仪量子技术(合肥)股份有限公司

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产品详情
产地:
安徽
型号:
SEM3200

扫描线圈(消像散线圈)

电子束在样品表面进行扫描有两种方式,进行形貌分析时都采用光栅扫描方式,当电子束进入偏转线圈时,方向发生转折,随后又由下偏转线圈使它的方向发生二次转折,发生二次偏转的电子束通过末及透镜的光心射到样品表面。在电子束偏转的同时还带有一个逐行扫描动作,电子束在上下偏转线圈的作用下,在样品表面扫描出方向区域,相应地在样品上也划出一副比例图像。样品上个点受到电子束轰击时发出的信号可由限号探测器接收,并通过显示系统在显像管荧光屏上按强度描绘出来。如果电子经上偏转仙缘转折后未经下偏转线圈改变方向,而直接由末及透镜折射到入射点位置,这种扫描方式称为角光栅扫描或摇摆扫描,入射束被上偏转线圈转折的角度越大,则电子束在入射点上摆动的角度也越大。

像散是由透镜磁场非旋转对称而引起的一种像差。当电子光学系统中磁场或静电场不呈轴对称时,会产生像散,使原来应该呈现的圆形交叉点变为椭圆。磁场不对称产生的像散,主要靠透镜极靴的加工精度来消除或减小。静电场不对称是由于光路污染引起的,污染物产生局部静电场,此静电场随污染程度而变化。为了消除像散,用扫描线圈是有效的,它的的作用是使电子束偏转,产生一个与引起像散方向相反、大小相同的磁场,并在样品表面作有规则的扫动,使得电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作保持严格同步,因为它们是由同一扫描发生器控制的。常用的消像散线圈是八极电磁型。经常清洗电子光路,可以减小静电场引起的图像畸变。

产品参数
型号SEM3200ASEM3200
电子光学系统电子枪类型预对中型发叉式钨灯丝电子枪(灯丝电流3档可调,可显示灯丝更换时间)
分辨率高真空3 nm @ 30 kV(SE)
4 nm @ 30 kV(BSE)
8 nm @ 3 kV(SE)
*低真空3 nm @ 30 kV(SE)
放大倍率1-300,000x(底片倍率)
1-1000,000x(屏幕倍率)
加速电压0.2 kV~30 kV
探针电流≥1.2μA,可实时显示
成像系统探测器二次电子探测器(ETD)
*背散射电子探测器、*低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等
图像保存格式TIFF、JPG、BMP、PNG
真空系统真空模式高真空优于5×10-4 Pa
*低真空5~1000 Pa
控制方式全自动控制
涡轮分子泵≥ 240 L/S
机械泵200 L/min (50 Hz)
样品室摄像头光学导航
样品仓内监控
样品台配置三轴自动*五轴自动
行程X: 120 mmX: 120 mm
Y: 115 mmY: 115 mm
Z: 50 mmZ: 50 mm
/R: 360°
/T: -10°~ +90°
能谱仪能谱仪探测器分析型SDD硅漂移电制冷探测器,有效面积≥30 mm2,晶体面积≥50 mm2,高分子超薄窗设计,无需液氮冷却,仅消耗电能
能谱仪能量分辨率Mn Ka保证优于129eV
元素分析范围B5~Cf98
软件语言中文
操作系统Windows
导航光学导航、手势快捷导航、可自动叠加电镜图片
自动功能自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
特色功能智能辅助消像散、*大图拼接(选配软件)
安装要求房间长 ≥ 3000 mm,宽 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm
温度20 ℃~25 ℃
湿度≤ 50 %
电气参数电源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA

扫描电子显微镜SEM3200

扫描电子显微镜
SEM3200

SEM3200是一款高性能、应用广泛的通用型钨灯丝扫描电子显微镜。拥有出色的成像质量、可兼容低真空模式、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。
大景深,成像富有立体感。丰富的扩展性,助您在显微成像的世界中尽情探索。

丰富的扩展性

SE\BSE\EDS\EBSD等

光学导航

可快速定位目标样品和感兴趣区域

*大图拼接

可实现全自动的采图和拼接,展示超大视野画面

图像混合成像(SE+BSE)

在一个图像中观察到样品的成分和表面信息

*双阳极结构

双阳极结构设计,提升了低电压下的分辨率和成像质量

*低真空模式

在低真空下提供样品表面细节和形貌,软件一键切换真空状态

(*为选配件)

产品特点(*为选配件)
低电压

碳材料样品,低电压下,穿透深度较小,可以获取样品表面真实形貌,细节更丰富。

低电压-碳高电压-碳

毛发样品,在低电压下,电子束辐照损伤减小,同时消除了荷电效应。

低电压-毛发高电压-毛发

低真空

过滤纤维管材料,导电性差,在高真空下荷电明显,在低真空下,无需镀膜即可实现对不导电样品的直接观察。

低真空高真空

大视场

生物样品,采用大视场观察,能够轻松获得瓢虫整体形貌及头部结构细节,展现跨尺度分析。

低电压-毛发高电压-毛发

导航&防碰撞光学导航

想看哪里点哪里,导航更轻松
标配仓内摄像头,可拍摄高清样品台照片,快速定位样品。

光学导航

手势快捷导航

可通过双击移动、鼠标中键拖动、框选放大,进行快捷导航
如框选放大:在低倍导航下,获得样品的大视野情况,可快速框选您感兴趣的样品区域,提高工作效率。

手势快捷导航手势快捷导航

防碰撞技术

采取多维度的防碰撞方案:
1. 手动输入样品高度,精准控制样品与物镜下端距离,防止发生碰撞;
2. 基于图像识别和动态捕捉技术,运动过程中对仓内的画面进行实时监测;
3.*硬件防碰撞,可在碰撞一瞬间停止电机,减少碰撞损伤。

防碰撞技术

特色功能智能辅助消像散

直观反映整个视野的像散程度,通过鼠标点击清晰处,可快速调节像散至最佳。

智能辅助消像散操作图智能辅助消像散结果图

自动聚焦

一键聚焦,快速成像。

自动聚焦操作图自动聚焦结果图

自动消像散

一键消像散,提高工作效率。

自动消像散操作图自动消像散结果图

自动亮度对比度

一键自动亮度对比度,调出灰度合适图像。

自动亮度对比操作图自动亮度对比结果图

多种信息同时成像

SEM3200软件支持一键切换SE和BSE的混合成像。可同时观察到样品的形貌信息和
成分信息。

多种信息同时成像BSE多种信息同时成像SE

多种信息同时成像BSE+SE

快速图像旋转

拖动一条线,图像立刻“摆正角度”。

快速图像旋转操作图快速图像旋转结果图

丰富拓展性

扫描电子显微镜不仅局限于表面形貌的观察,更可以进行样品表面的微区成分分析。
SEM3200接口丰富,除支持常规的二次电子探测器(ETD)、背散射电子探测器(BSED)、X射线能谱仪(EDS)外,也预留了诸多接口,如电子背散射衍射(EBSD)、阴极射线(CL)等探测器都可以在SEM3200上进行集成。

背散射电子探测器
二次电子成像和背散射电子成像对比

背散射电子成像模式下,荷电效应明显减弱,并且可以获得样品表面更多的成分信息。

镀层样品:

镀层样品SE镀层样品BSE

钨钢合金样品:

钨钢合金样品SE钨钢合金样品BSE

五分割半导体背散射探测器——多通道成像

探测器设计精巧,灵敏度高,采用5分割设计,无需倾斜样品,可获得不同方向的阴影像以及成分分布图像。

单通道阴影像.png

单通道阴影像

成分像

能谱

LED小灯珠能谱面分析结果。 

电子背散射衍射

钨灯丝电镜束流大,完全满足高分辨EBSD的测试需求,能够对金属、陶瓷、矿物等多晶材料进行晶体取向标定以及晶粒度大小等分析。
该图为Ni金属标样的EBSD反极图,能够识别晶粒大小和取向,判断晶界和孪晶,对材料组织结构进行精确判断。

应用案例

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