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国仪量子 国产丰富扩展性扫描电子显微镜 SEM3200

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品牌名称
国仪量子
厂家区域
安徽合肥市
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店铺信息

所在地区:安徽 合肥市

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国仪量子技术(合肥)股份有限公司

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产品详情
产地:
安徽
型号:
SEM3200
真空系统

真空系统的作用是建立能确保电子光学系统正常工作、防止样品污染所必须的真空度。一般情况下,如果真空系统能提供1.33*10-2~1.33*10-3Pa(10-4~10-5mmHg)的真空度时,就可以防止样品的污染。如果真空度不足,除样品被严重污染外,还会出现灯丝寿命下降,极间放电等问题。

不同类型的扫描电镜对真空度的要求不尽相同,通常情况下,钨灯丝电镜要求保持优于10-4~10-5Pa的真空度;场发射电子枪系统通常要求10-7~10-8Pa的真空度。

样品室的真空度是有机械真空泵和分子泵来实现,电镜镜筒和灯丝室的真空度由离子泵来实现,先开机械泵预抽真空,达到所需真空度之后可以开机,在更换试样时,阀门会自动使样品室与镜筒部分隔开,更换灯丝时也可以将电子枪与整个镜筒隔开,这样保持镜筒部分真空不被破坏。

信号检测放大系统

样品在入射电子束作用下,会产生各种物理信号,有二次电子、背散射电子、特征X射线、阴极荧光和透射电子。信号检测放大系统的作用是检测样品在入射电子作用下产生的物理信号,再经视频放大,作为显像系统的调制信号。

不同的物理信号,要用不同类型的信号检测放大系统。信号检测放大系统大致可以分为三大类型,即电子检测放大系统、阴极荧光检测放大系统和X射线检测放大系统。

扫描电子显微镜
SEM3200

SEM3200是一款高性能、应用广泛的通用型钨灯丝扫描电子显微镜。拥有出色的成像质量、可兼容低真空模式、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。
大景深,成像富有立体感。丰富的扩展性,助您在显微成像的世界中尽情探索。

丰富的扩展性

SE\BSE\EDS\EBSD等

光学导航

可快速定位目标样品和感兴趣区域

*大图拼接

可实现全自动的采图和拼接,展示超大视野画面

图像混合成像(SE+BSE)

在一个图像中观察到样品的成分和表面信息

*双阳极结构

双阳极结构设计,提升了低电压下的分辨率和成像质量

*低真空模式

在低真空下提供样品表面细节和形貌,软件一键切换真空状态

(*为选配件)



特色功能智能辅助消像散

直观反映整个视野的像散程度,通过鼠标点击清晰处,可快速调节像散至最佳。

智能辅助消像散操作图智能辅助消像散结果图

自动聚焦

一键聚焦,快速成像。

自动聚焦操作图自动聚焦结果图

自动消像散

一键消像散,提高工作效率。

自动消像散操作图自动消像散结果图

自动亮度对比度

一键自动亮度对比度,调出灰度合适图像。

自动亮度对比操作图自动亮度对比结果图

多种信息同时成像

SEM3200软件支持一键切换SE和BSE的混合成像。可同时观察到样品的形貌信息和
成分信息。

多种信息同时成像BSE多种信息同时成像SE

多种信息同时成像BSE+SE

快速图像旋转

拖动一条线,图像立刻“摆正角度”。

快速图像旋转操作图快速图像旋转结果图

丰富拓展性

扫描电子显微镜不仅局限于表面形貌的观察,更可以进行样品表面的微区成分分析。
SEM3200接口丰富,除支持常规的二次电子探测器(ETD)、背散射电子探测器(BSED)、X射线能谱仪(EDS)外,也预留了诸多接口,如电子背散射衍射(EBSD)、阴极射线(CL)等探测器都可以在SEM3200上进行集成。

背散射电子探测器
二次电子成像和背散射电子成像对比

背散射电子成像模式下,荷电效应明显减弱,并且可以获得样品表面更多的成分信息。

镀层样品:

镀层样品SE镀层样品BSE

钨钢合金样品:

钨钢合金样品SE钨钢合金样品BSE

五分割半导体背散射探测器——多通道成像

探测器设计精巧,灵敏度高,采用5分割设计,无需倾斜样品,可获得不同方向的阴影像以及成分分布图像。

单通道阴影像.png

单通道阴影像

成分像

能谱

LED小灯珠能谱面分析结果。 

电子背散射衍射

钨灯丝电镜束流大,完全满足高分辨EBSD的测试需求,能够对金属、陶瓷、矿物等多晶材料进行晶体取向标定以及晶粒度大小等分析。
该图为Ni金属标样的EBSD反极图,能够识别晶粒大小和取向,判断晶界和孪晶,对材料组织结构进行精确判断。

应用案例

magnifying.png普通芯片-1

普通芯片-1

magnifying.png普通芯片-2

普通芯片-2

magnifying.png负极-碳

负极-碳

magnifying.png负极-碳包硅

负极-碳包硅

magnifying.png正极-钴酸锂

正极-钴酸锂

magnifying.png正极-锰酸锂

正极-锰酸锂

magnifying.png太阳能电池-1

太阳能电池-1

magnifying.png太阳能电池-2

太阳能电池-2

magnifying.png高分子泡沫

高分子泡沫

magnifying.png催化剂-MOF材料

催化剂-MOF材料

magnifying.png2A12铝合金析出相

2A12铝合金析出相

magnifying.pngMg-Zn合金化合物层

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magnifying.png不锈钢-黄铜焊接件

不锈钢-黄铜焊接件

magnifying.png钛合金基体组织

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magnifying.png合金断口脆性+韧性

合金断口脆性+韧性

magnifying.png韧性断口

韧性断口

magnifying.png钢铁夹杂物BSE

钢铁夹杂物BSE

magnifying.png钢铁夹杂物SE

钢铁夹杂物SE

magnifying.png硅藻-1

硅藻-1

magnifying.png硅藻-2

硅藻-2

magnifying.png鸡葡萄球菌-1

鸡葡萄球菌-1

magnifying.png鸡葡萄球菌-2

鸡葡萄球菌-2

magnifying.png大米

大米

magnifying.png糯米淀粉颗粒-1

糯米淀粉颗粒-1

magnifying.png糯米淀粉颗粒-2

糯米淀粉颗粒-2

magnifying.png受潮盐颗粒

受潮盐颗粒

magnifying.png粉体-钛酸钡

粉体-钛酸钡

magnifying.png粉体-硫酸镁

粉体-硫酸镁

magnifying.png粉体-氧化铝

粉体-氧化铝

magnifying.png过滤功能材料

过滤功能材料

magnifying.png岩石

岩石

magnifying.png纳米材料-二氧化硅微球

纳米材料-二氧化硅微球

magnifying.pngSiC陶瓷BSE

SiC陶瓷BSE

magnifying.pngSiC陶瓷SE

SiC陶瓷SE

magnifying.png陶瓷复合材料

陶瓷复合材料

产品特点(*为选配件)

低电压

碳材料样品,低电压下,穿透深度较小,可以获取样品表面真实形貌,细节更丰富。

低电压-碳高电压-碳

毛发样品,在低电压下,电子束辐照损伤减小,同时消除了荷电效应。

低电压-毛发高电压-毛发

低真空

过滤纤维管材料,导电性差,在高真空下荷电明显,在低真空下,无需镀膜即可实现对不导电样品的直接观察。

低真空高真空

大视场

生物样品,采用大视场观察,能够轻松获得瓢虫整体形貌及头部结构细节,展现跨尺度分析。

低电压-毛发高电压-毛发

导航&防碰撞光学导航

想看哪里点哪里,导航更轻松
标配仓内摄像头,可拍摄高清样品台照片,快速定位样品。

光学导航

手势快捷导航

可通过双击移动、鼠标中键拖动、框选放大,进行快捷导航
如框选放大:在低倍导航下,获得样品的大视野情况,可快速框选您感兴趣的样品区域,提高工作效率。

手势快捷导航手势快捷导航

防碰撞技术

采取多维度的防碰撞方案:
1. 手动输入样品高度,精准控制样品与物镜下端距离,防止发生碰撞;
2. 基于图像识别和动态捕捉技术,运动过程中对仓内的画面进行实时监测;
3.*硬件防碰撞,可在碰撞一瞬间停止电机,减少碰撞损伤。

防碰撞技术


产品参数
型号SEM3200ASEM3200
电子光学系统电子枪类型预对中型发叉式钨灯丝电子枪(灯丝电流3档可调,可显示灯丝更换时间)
分辨率高真空3 nm @ 30 kV(SE)
4 nm @ 30 kV(BSE)
8 nm @ 3 kV(SE)
*低真空3 nm @ 30 kV(SE)
放大倍率1-300,000x(底片倍率)
1-1000,000x(屏幕倍率)
加速电压0.2 kV~30 kV
探针电流≥1.2μA,可实时显示
成像系统探测器二次电子探测器(ETD)
*背散射电子探测器、*低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等
图像保存格式TIFF、JPG、BMP、PNG
真空系统真空模式高真空优于5×10-4 Pa
*低真空5~1000 Pa
控制方式全自动控制
涡轮分子泵≥ 240 L/S
机械泵200 L/min (50 Hz)
样品室摄像头光学导航
样品仓内监控
样品台配置三轴自动*五轴自动
行程X: 120 mmX: 120 mm
Y: 115 mmY: 115 mm
Z: 50 mmZ: 50 mm
/R: 360°
/T: -10°~ +90°
能谱仪能谱仪探测器分析型SDD硅漂移电制冷探测器,有效面积≥30 mm2,晶体面积≥50 mm2,高分子超薄窗设计,无需液氮冷却,仅消耗电能
能谱仪能量分辨率Mn Ka保证优于129eV
元素分析范围B5~Cf98
软件语言中文
操作系统Windows
导航光学导航、手势快捷导航、可自动叠加电镜图片
自动功能自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
特色功能智能辅助消像散、*大图拼接(选配软件)
安装要求房间长 ≥ 3000 mm,宽 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm
温度20 ℃~25 ℃
湿度≤ 50 %
电气参数电源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA

扫描电子显微镜SEM3200



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