国产高速扫描电子显微镜 HEM6000

产地：

安徽

型号：

HEM6000

高速扫描电子显微镜 

HEM6000

HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。

采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率。

面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。

性能特点

图像采集速度：10 ns/pixel，2*100 M pixel/s

加速电压：100 V~6 kV(减速模式) ； 6 kV~30 kV(非减速模式)

分辨率：1.3 nm@3 kV，SE ； 2.2 nm@1 kV，SE

视场大小：最大视场1*1 mm²，高分辨微畸变视场32*32 um²

样品台精度：重复定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um

高速扫描驱动器                                  电子过滤系统

驻点时间10 ns/pixel，                       SE/BSE信号自由切换，

最快采集速度2*100 M pixel/s            MIX成像信号比例可调

全静电高速偏转系统                           样品台减速技术

可实现高分辨大场模式，                    降低入射电子落点电压，

4 nm像素点最大视场达32*32 um²     同时提高回收电子的收集效率

浸没式电磁复合物镜

物镜磁场浸没样品

实现了低像差高分辨率

产品优势

01 高速自动化

全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍

02 大场低畸变

跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变

03 低压高分辨

样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率

应用领域

半导体工业

生命科学

材料科学

地质科学

应用案例

芯片（金属层）/ 116x / BSE / 120 ns

芯片（器件层） / 2000x / BSE / 40 ns

芯片（金属层）/ 1200x / BSE / 120 ns

芯片（器件层） / 1200x / BSE / 120 ns

生物切片 / 9500x / BSE / 120 ns

生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns

生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns

生物切片 / 116x / BSE / 120 ns

产品参数

服务

扫描电子显微镜实验室 

我们在合肥、无锡、广州和上海设有扫描电子显微镜实验室，实验室配备多名电镜技术专家和高级电镜应用工程师，提供包含电 镜应用技术开发、样品拍摄在内的多种服务。主要应用领域有锂电池、新型纳米材料、半导体材料、矿物冶金、地质勘探、生物医药等。 实验室依托国仪量子电镜产品，在电镜应用领域开展具有自主知识产权的科研项目，致力于实现科学研究和人才培养的目标。与此同时，实验室也为有电镜应用需求的科研院所、大专院校、企事业单位提供优质的服务。