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CXF-200/1401型磁悬浮分子泵应用于科学研究

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品牌名称
中科科仪
厂家区域
北京
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产品详情
产地:
北京
型号:
CXF-200/1401

CXF-200/1401型磁悬浮分子泵

应用领域

半导体、光伏、平板显示、装饰镀膜、功能镀膜、科学研究、新能源、新材料、高能物理


产品特点

节能:无摩擦,避免热损耗、较其它类型产品能耗降低30%

高效:更长的连续工作时间、高气流量和高抽速

灵活:紧凑型结构,满足更小的物理空间需求、任意角度安装,适合各种设计需求、丰富扩展功能,满足客户定制化需求


技术指标

抽气速率(l/s)N2:1400   Ar:1360  He:880   H2:560压缩比N2:>1E7   Ar:>1E7   He:>1E4   H2:>1E3
极限压强(Pa)10-6(橡胶密封)   10-7(金属密封) 进气口法兰DN200 ISO F(标配)  DN200 CF(可选)   DN200 LF(可定制) 
额定转速(rpm)30000启动时间(min)≤6
停机时间(min)≤16安装方式任意角度
冷却方式水冷推荐前级泵抽速(l/s)≥16


磁悬浮分子泵是依靠磁力轴承支撑轴系的分子泵。系列磁悬浮分子泵是KYKY为满足现代半导体制备、芯片制造、工业镀膜、科研设备等领域应用需求开发的真空获得设备,抽速为1400L/s到3000L/s,应用压力范围为20Pa到10-7Pa,包含ISO-K、ISO-F、ISO-CF三种气体入口连接形式。






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