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FF-100/150型仪器分子泵应用于半导体工业

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品牌名称
中科科仪
厂家区域
北京
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产品详情
产地:
北京
型号:
FF-100/150

FF-100/150型仪器分子泵


分子泵作为一种高效的真空泵,具有广泛的应用场景。不同领域的需求推动着分子泵技术的进步与改进。随着科技的不断发展,相信分子泵将会在更多的领域中得到应用,发挥重要的作用。应用于半导体工业


产品特点:

紧凑型结构设计,便于集成,可以实现24VDC供电后分子泵直接运行;

低功耗、低振动、节能;

更高前级耐压,适合分析仪器行业;

可任意角度安装

 

技术指标:

进气口法兰DN100 CF DN100 ISO-K排气口法兰(ISO-KF)DN25
抽速速率(L/s)N2:140  He:130 H2:75  Ar:145压缩比N2:1E7  He:1E3  H2:1E3  Ar:1E7
极限压强(Pa)CF:2E-7 ISO-K:2E-6最大连续前级压强(Pa)220
最大前级压强(Pa)N2:500最大气载量(sccm)N2:135  He:80  H2:52  Ar:143
额定转速(RPM)51000启动时间(min)≤3
冷却方式水冷或风冷冷却水流量(L/min)1
冷却水温度(℃)≤25电源电压(VAC)DC24/AC220
最大功率(W)90适配电源型号TD-150/TCP-100/TC-100
建议前级泵(L/s)1~2重量(kg)6.0(ISO-K) 8.6(CF)


应用领域:

质谱分析、表面分析、电子显微镜、3d打印、无损探测、科学研究


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