第1年
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ZDR-27/0B6 真空计应用于半导体制造
- 产地：
- 北京
- 型号：
- FF-63/80
FF-63/80型仪器分子泵
应用领域：分子泵动平衡设备在半导体、光学、化学、材料等领域有着广泛的应用。例如，在半导体生产中，高纯气体的使用非常广泛，分子泵动平衡设备就可以为这种生产提供可靠的支持。
产品特点：
转速可达72000RPM，国内转速最高分子泵；
紧凑型结构设计，便于集成，可以实现24VDC供电后分子泵直接运行；
低功耗、低振动、节能；
更高前级耐压，适合分析仪器行业；
可任意角度安装
技术指标：
| 进气口法兰 | DN63 CF DN63 ISO-K | 排气口法兰（ISO-KF） | DN16 |
| 抽速速率（L/s） | N2：82 He：58 H2：44 Ar：87 | 压缩比 | N2：1E8 He：1E5 H2：1E4 Ar：1E8 |
| 极限压强（Pa） | CF：8E-6 ISO-K：5E-5 | 最大连续前级压强（Pa） | 200 |
| 最大前级压强 （Pa） | N2：650 | 最大气载量（sccm） | N2：35 He：30 H2：19 Ar：38 |
| 额定转速（RPM） | 72000 | 启动时间（min） | ≤2 |
| 冷却方式 | 水冷或风冷 | 冷却水流量（L/min） | 1 |
| 冷却水温度（℃） | ≤25 | 电源电压（VAC） | DC24/AC220 |
| 最大功率（W） | 90 | 适配电源型号 | TD-80/TCP-100/TC-100 |
| 建议前级泵（L/s） | 0.5～2 | 重量（kg） | 2.6（ISO-K） 3.5（CF） |
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