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CXF-250/2301型磁悬浮分子泵应用于半导体

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品牌名称
中科科仪
厂家区域
北京
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北京中科科仪股份有限公司

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产品详情
产地:
北京
型号:
CXF-250/2301

CXF-250/2301型磁悬浮分子泵

       

什么是磁悬浮分子泵

磁悬浮分子泵是一种采用磁悬浮技术和分子泵技术相结合的高精密度泵类,是目前科技界的研究热点。该泵的特点是利用磁力来悬浮转子,使转子无接触运转,从而避免了机械磨损,减少了能量损耗,在超高真空中具有极高的抽气速度和极低的气体残留率。


产品特点

节能:无摩擦,避免热损耗、较其它类型产品能耗降低30%

高效:更长的连续工作时间、高气流量和高抽速

灵活:紧凑型结构,满足更小的物理空间需求、任意角度安装,适合各种设计需求、丰富扩展功能,满足客户定制化需求


技术指标

抽气速率(l/s)N2:2300   Ar:2250   He:1900   H2:850压缩比N2:>1E7   Ar:>1E7   He:>1E4   H2:>1E3
极限压强(Pa)10-7(橡胶密封)   10-8(金属密封) 进气口法兰DN250 ISO F(标配)   DN250 CF(可选)   DN250 LF(可定制)  
额定转速(rpm)27000启动时间(min)≤8
停机时间(min)≤25安装方式任意角度
冷却方式水冷推荐前级泵抽速(l/s)≥22


应用领域

半导体、光伏、平板显示、装饰镀膜、功能镀膜、科学研究、新能源、新材料、高能物理


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