台式射频电源单靶磁控溅射镀膜仪

产品型号

CY-MSP190S-1T-RF

安装条件

1、使用环境温度 25℃±15℃，湿度 55%Rh±10%Rh；

2、设备供电：AC220V，50Hz，必须有良好接地；

3、额定功率：1500w（整机含电源）；

4、设备用气：设备腔室内需充注氩气清洗，需客户自备氩气，纯度 ≥99.99%；

5、摆放工作台尺寸要求 600mm×600mm×700mm，承重 80kg 以上；

6、摆放位置要求通风散热良好。

技术参数

1、 溅射电源：射频电源300W；*大输出电压600V，极限输出电流500mA

2、 磁控靶：2英寸平衡靶，配磁耦合挡板；

3、 磁控靶适用靶材： φ50mm x 3mm厚

4、 腔体尺寸：外径φ194mm ，内径186mm x 高230mm；

5、 腔体材质： 304不锈钢

6、 旋转加热样品台：转速1~20rpm  连续可调；加热温度*高500℃，升温速度推荐10℃/min，*高20℃/min。

7、 冷却方式：磁控靶及分子泵需要循环水冷机；

8、 水冷机：水箱容积9L，流速10L/min

9、 供气系统：质量流量计， 气体类型Ar气，流量1~100sccm（可定制）；

10、 流量计精度：±1.5%量程

11、 真空腔体抽气接口为 KF40；

12、 进气接口为 1/4 英寸双卡套接头；

13、 显示屏为7英寸彩色触摸屏；

14、 可调节溅射电流，可设置溅射**电流值、**真空值；

15、 **保护：过流、真空过低自动切断溅射电流；

16、 极限真空：5E-4Pa(搭配分子泵)；

17、 真空测量为电阻规真空计，其量程为：1～105Pa

注意事项

1、磁控溅射工作真空较高，一般在2Pa之内，需要配分子泵使用。

2、为了达到较高的无氧环境，至少要用高纯惰性气体对真空腔体清洗 3 次。

3、磁控溅射对进气量比较敏感，需要使用质量流量计控制进气量

可选配件

膜厚监测仪

1、膜厚分辨率：0.0136Å（铝）

2、膜厚准确度：±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置， 材料应力，温度和密度

3、测量速度：100ms-1s/次，可设置测量范围：500000Å（铝）

4、标准传感器晶体：6MHz

5、适用晶片频率：6MHz 适用晶片尺寸：Φ14mm 安装法兰：CF35

其他配件

1、CY-CZK103系列高性能分子泵组（含复合真空计，测量范围10-5Pa~105Pa）；

CY-GZK60系列小型分子泵组（含复合真空计，测量范围10-5Pa~102Pa）

VRD-4双极旋片真空泵；

2、KF40真空波纹管；长度可选0.5m、1m、1.5m；KF40卡箍支架

3、膜厚仪晶振片；