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高校科研小型离子溅射仪磁控溅射镀膜仪器

价格 38600.00元/件
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品牌名称
郑科探
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河南郑州市
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产品详情
工作电源:
直流溅射电源
功率:
≤1000W
腔体真空:
≤30Pa

离子溅射仪在扫描电镜中应用十分广泛,通过向样品表面喷镀金、铂、钯及混合靶材等金属消除不导电样品的荷电现象,并提高观测效率,另外可以使用喷碳附件对样品进行蒸碳,实现不导电样品的能谱仪元素定性和半定量分析。

磁控溅射优点

(2)基片温度低,适合塑料等不耐高温的基材镀膜;

(4)可制备金属、合金、氧化物等薄膜;


  样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。

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