原位纳米压痕仪 NanoFlip

InForce 1000：

大载荷 1000mN

纵向载荷分辨率：

3nN

位移数字分辨率：

<0.002nm

和优线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解，以及高灵敏度的三片式电容传感器的设计，保证       KLA InSEM 系列：的激发器的结构设计，完全实现载荷和位移的分别控制和探测，完InForce50 载荷激发器 载荷激发器
• 纵向载荷分辨率： 3nN
• 位移噪音背景:<0.01nm
InForce1000 载荷激发器 载荷激发器
• 纵向载荷分辨率： 6nN
• 噪音背景:<0.1nm
NanoFlip 的样品台处于“Up”状态时，SEM/FIB 可以方便的观察样品和进行微区定位，当时的视频捕捉。

数据采集 数据采集 ( (InQuest 控制器 控制器) )
材料瞬间变化的捕捉:
• 控制器时间常数：20us
• X 向大行程：20 mm
• Z 向大行程：25 mm